MajengSiC Cantilever Paddlekanggo Wafer Processing digawe dening dokter kewan-china menehi solusi banget kanggo manufaktur semikonduktor. Paddle cantilever iki digawe saka materi SiC (silikon karbida), lan atose dhuwur lan tahan panas mbisakake kanggo njaga kinerja banget ing suhu dhuwur lan lingkungan korosif. Desain Cantilever Paddle ngidini wafer bisa andal didhukung sajrone proses, nyuda resiko fragmentasi lan karusakan.
SiC Cantilever Paddleminangka komponen khusus sing digunakake ing peralatan manufaktur semikonduktor kayata tungku oksidasi, tungku difusi, lan tungku annealing, panggunaan utama yaiku kanggo ngisi wafer lan unloading, ndhukung lan ngangkut wafer sajrone proses suhu dhuwur.
Struktur umumsakaSiCcantileverpaddle: struktur cantilever, tetep ing siji mburi lan free ing liyane, biasane duwe desain flat lan paddle-kaya.
VET Energy nggunakake bahan silikon karbida rekristalisasi kanthi kemurnian dhuwur kanggo njamin kualitas.
Sifat fisik saka Recrystallized Silicon Carbide | |
Properti | Nilai Khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan nyuda) |
konten SiC | > 99,96% |
Konten Si gratis | < 0,1% |
Kapadhetan akeh | 2,60-2,70 g / cm3 |
Porositas sing katon | < 16% |
Kekuwatan komprèsi | > 600MPa |
Kekuwatan mlengkung kadhemen | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuwatan mlengkung panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23W/m•K |
Modulus elastis | 240 GPa |
resistance kejut termal | Apik banget |
Kaluwihan saka VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing yaiku:
-Stabilitas suhu dhuwur: bisa digunakake ing lingkungan ndhuwur 1600 ° C;
-Koefisien ekspansi termal sing sithik: njaga stabilitas dimensi, nyuda risiko warpage wafer;
-Kemurnian dhuwur: risiko kontaminasi logam luwih murah;
-Inertness kimia: karat-tahan, cocok kanggo macem-macem lingkungan gas;
-Kekuwatan dhuwur lan atose: tahan nganggo, umur layanan dawa;
- Konduktivitas termal sing apik: mbantu pemanasan wafer seragam.