Vet-ChinaKeramik Silicon Carbide KabLapisan minangka lapisan protèktif kinerja dhuwur sing digawe saka hard banget lan tahan nyandhangsilikon karbida (SiC)materi, kang menehi resistance karat kimia banget lan stabilitas suhu dhuwur. Karakteristik kasebut penting banget ing produksi semikonduktor, mulaSilicon Carbide Keramik Coatingdigunakake digunakake ing komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor.
Peran khusus Vet-ChinaKeramik Silicon Carbide KabLapisan ing produksi semikonduktor kaya ing ngisor iki:
Nambah daya tahan peralatan:Silicon Carbide Keramik Coating Silicon Carbide Keramik Coating menehi pangayoman lumahing banget kanggo peralatan manufaktur semikonduktor karo atose dhuwur banget lan nyandhang resistance. Utamane ing lingkungan proses suhu dhuwur lan korosif, kayata deposisi uap kimia (CVD) lan etsa plasma, lapisan kasebut bisa kanthi efektif nyegah permukaan peralatan rusak dening erosi kimia utawa nyandhang fisik, saengga bisa nambah umur layanan. peralatan lan nyuda downtime disebabake ganti lan ndandani sing kerep.
Ningkatake kemurnian proses:Ing proses manufaktur semikonduktor, kontaminasi cilik bisa nyebabake cacat produk. Inertness kimia saka Silicon Carbide Keramik Coating ngidini kanggo tetep stabil ing kahanan nemen, nyegah materi saka ngeculake partikel utawa impurities, saéngga njamin kemurnian lingkungan proses. Iki penting banget kanggo langkah-langkah manufaktur sing mbutuhake presisi dhuwur lan kebersihan sing dhuwur, kayata PECVD lan implantasi ion.
Ngoptimalake manajemen termal:Ing pangolahan semikonduktor suhu dhuwur, kayata pangolahan termal kanthi cepet (RTP) lan proses oksidasi, konduktivitas termal dhuwur saka Silicon Carbide Ceramic Coating mbisakake distribusi suhu seragam ing peralatan kasebut. Iki mbantu nyuda stres termal lan deformasi materi sing disebabake fluktuasi suhu, saéngga nambah akurasi lan konsistensi manufaktur produk.
Ndhukung lingkungan proses sing kompleks:Ing pangolahan sing mbutuhake kontrol atmosfer Komplek, kayata etsa ICP lan proses etsa PSS, stabilitas lan oksidasi resistance saka Silicon Carbide Keramik Coating mesthekake yen peralatan njogo kinerja stabil ing operasi long-term, ngurangi risiko degradasi materi utawa karusakan peralatan amarga. kanggo owah-owahan lingkungan.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan | |
性质 / Properti | 典型数值 / Nilai khas |
晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Kapadhetan | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Kekerasan | 2500 维氏硬度(500g beban) |
晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2~10μm |
纯度 / Kemurnian Kimia | 99.99995% |
热容 / Kapasitas panas | 640 J·kg-1· K-1 |
升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Kekuwatan lentur | 415 MPa RT 4-titik |
杨氏模量 / Modulus Muda | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalKonduktivitas | 300W·m-1· K-1 |
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!