pemanas lapisan keramik silikon karbida

Katrangan singkat:

Minangka produsen lan supplier Keramik Keramik Silicon Carbide profesional ing China, Coating Keramik Silicon Carbide Vet-China digunakake akeh ing komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor, utamane nalika proses CVD lan PECVD melu. Vet-China spesialisasi ing manufaktur lan nyediakke-kinerja dhuwur Silicon Carbide Keramik Coating, lan setya nyediakake teknologi canggih lan solusi produk kanggo industri semikonduktor. Welcome pitakonan Panjenengan.


Detail Produk

Tag produk

Vet-ChinaKeramik Silicon Carbide KabLapisan minangka lapisan protèktif kinerja dhuwur sing digawe saka hard banget lan tahan nyandhangsilikon karbida (SiC)materi, kang menehi resistance karat kimia banget lan stabilitas suhu dhuwur. Karakteristik kasebut penting banget ing produksi semikonduktor, mulaSilicon Carbide Keramik Coatingdigunakake digunakake ing komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor.

Peran khusus Vet-ChinaKeramik Silicon Carbide KabLapisan ing produksi semikonduktor kaya ing ngisor iki:

Nambah daya tahan peralatan:Silicon Carbide Keramik Coating Silicon Carbide Keramik Coating menehi pangayoman lumahing banget kanggo peralatan manufaktur semikonduktor karo atose dhuwur banget lan nyandhang resistance. Utamane ing lingkungan proses suhu dhuwur lan korosif, kayata deposisi uap kimia (CVD) lan etsa plasma, lapisan kasebut bisa kanthi efektif nyegah permukaan peralatan rusak dening erosi kimia utawa nyandhang fisik, saengga bisa nambah umur layanan. peralatan lan nyuda downtime disebabake ganti lan ndandani sing kerep.

Ningkatake kemurnian proses:Ing proses manufaktur semikonduktor, kontaminasi cilik bisa nyebabake cacat produk. Inertness kimia saka Silicon Carbide Keramik Coating ngidini kanggo tetep stabil ing kahanan nemen, nyegah materi saka ngeculake partikel utawa impurities, saéngga njamin kemurnian lingkungan proses. Iki penting banget kanggo langkah-langkah manufaktur sing mbutuhake presisi dhuwur lan kebersihan sing dhuwur, kayata PECVD lan implantasi ion.

Ngoptimalake manajemen termal:Ing pangolahan semikonduktor suhu dhuwur, kayata pangolahan termal kanthi cepet (RTP) lan proses oksidasi, konduktivitas termal dhuwur saka Silicon Carbide Ceramic Coating mbisakake distribusi suhu seragam ing peralatan kasebut. Iki mbantu nyuda stres termal lan deformasi materi sing disebabake fluktuasi suhu, saéngga nambah akurasi lan konsistensi manufaktur produk.

Ndhukung lingkungan proses sing kompleks:Ing pangolahan sing mbutuhake kontrol atmosfer Komplek, kayata etsa ICP lan proses etsa PSS, stabilitas lan oksidasi resistance saka Silicon Carbide Keramik Coating mesthekake yen peralatan njogo kinerja stabil ing operasi long-term, ngurangi risiko degradasi materi utawa karusakan peralatan amarga. kanggo owah-owahan lingkungan.

lapisan keramik silikon karbida
Pemanas grafit (4)

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuwatan lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivitas

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Chat Online WhatsApp!