卸売 OEM/ODM Sic 基板上の GaN ベースデピタキシャル 4''

簡単な説明:

エピタキシャル成長プロセスで使用されるウェーハキャリアは、高温と過酷な化学洗浄に耐える必要があります。 CoorsTek Clear Carbon™ サセプタは、これらの要求の厳しいエピタキシー装置用途向けに特別に設計されています。高純度の炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイト構造は、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。微細な SiC 結晶コーティングにより、きれいで滑らかな表面が得られます。これは、新品のウェーハがその領域全体の多くの点でサセプタと接触するため、取り扱いに不可欠です。


製品詳細

製品タグ

実際、これは当社の製品とソリューションを強化し、修理するための良い方法です。私たちの使命は、Sic基板4インチ上の卸売OEM/ODM GaNベースデピタキシャルの素晴らしい実務経験を活用して、想像力豊かな製品とソリューションをクライアントに提供することです。当社は、多数の経験豊富な表現と一流の機器と組み合わせて、独自のブランドを構築することに重点を置いています。 。あなたが持つ価値のある当社の商品。
実際、これは当社の製品とソリューションを強化し、修理するための良い方法です。私たちの使命は、素晴らしい仕事経験を活かして、想像力豊かな製品とソリューションをクライアントに提供することです。中国のGaN基板とGaNフィルム, 品揃えの豊富さ、品質の良さ、リーズナブルな価格、そしてスタイリッシュなデザインにより、美容業界やその他の業界でも幅広くご利用いただいております。当社の製品とソリューションはユーザーに広く認知され信頼されており、絶えず変化する経済的および社会的ニーズに対応できます。

SiCコーティンググラファイトMOCVDウエハキャリア

当社のサセプタはすべて、高強度等方性グラファイトで作られています。当社の高純度グラファイトは、エピタキシー、結晶成長、イオン注入、プラズマエッチングなどの困難なプロセスや LED チップの製造用に特別に開発されたものです。

製品説明
半導体用途向けのグラファイト基板の SiC コーティングにより、優れた純度と酸化性雰囲気に対する耐性を備えた部品が得られます。
CVD SiC または CVI SiC は、単純または複雑な設計部品のグラファイトに適用されます。コーティングはさまざまな厚さで、非常に大きな部品に適用できます。

 

コンポ

SiCコーティンググラファイトMOCVDウエハキャリア

当社の SiC コーティングされたグラファイトサセプターの特別な利点には、非常に高純度、均一なコーティング、優れた耐用年数が含まれます。また、高い耐薬品性と熱安定性も備えています。

当社では、均一なサセプタプロファイルを確保するために高精度の機械加工を使用して、SiC コーティングを塗布する際に非常に厳密な公差を維持しています。また、誘導加熱システムで使用するための理想的な電気抵抗特性を備えた材料も製造しています。すべての完成したコンポーネントには、純度および寸法準拠証明書が付属します。

応用:

2

特徴:
・優れた耐熱衝撃性
・優れた耐物理衝撃性
・優れた耐薬品性
・超高純度
· 複雑な形状でも利用可能
・酸化性雰囲気下でも使用可能ベースグラファイト材料の典型的な特性:

見掛け密度: 1.85g/cm3
電気抵抗率: 11μΩm
曲げ強度: 49MPa(500kgf/cm2)
ショア硬度: 58
灰: <5ppm
熱伝導率: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

実際、これは当社の製品とソリューションを強化し、修理するための良い方法です。私たちの使命は、Sic基板4インチ上の卸売OEM/ODM GaNベースデピタキシャルの素晴らしい実務経験を活用して、想像力豊かな製品とソリューションをクライアントに提供することです。当社は、多数の経験豊富な表現と一流の機器と組み合わせて、独自のブランドを構築することに重点を置いています。 。あなたが持つ価値のある当社の商品。
卸売OEM/ODM中国のGaN基板とGaNフィルム, 品揃えの豊富さ、品質の良さ、リーズナブルな価格、そしてスタイリッシュなデザインにより、美容業界やその他の業界でも幅広くご利用いただいております。当社の製品とソリューションはユーザーに広く認知され信頼されており、絶えず変化する経済的および社会的ニーズに対応できます。


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