獣医中国が生産する炭化タンタルコーティングされたウェーハサセプタ、最先端の CVD コーティング技術を使用しており、極端な作業条件下でも優れた性能を発揮します。その炭化タンタルこの材料は耐摩耗性と耐食性を兼ね備えており、半導体製造業界にとって理想的な選択肢です。
高温や腐食性の環境では、炭化タンタルコーティング ウェーハサセプタ優れた化学的不活性性と熱安定性を示し、さまざまな化学媒体の侵食に効果的に抵抗できるため、過酷な条件下での長期使用が保証されます。この特徴により、当社のガイドリングは半導体プロセス、化学用途、その他の分野で大きな応用可能性を持っています。
中国獣医の選択炭化タンタルコーティング ウェーハサセプタ生産効率を向上させるだけでなく、設備の耐用年数を延ばすこともできます。当社の製品は厳格に品質管理されており、それぞれの製品が最高の業界基準を満たしていることを確認し、顧客のさまざまなニーズに応えます。
Vet-China は継続的な技術革新を通じて、顧客に信頼できるソリューションを提供し、業界の進歩を促進することに尽力しています。弊社の炭化タンタルコーティングウエハサセプターは、高温および腐食環境に最適な信頼できる選択肢であり、アプリケーションが新たな高みに達するのに役立ちます。
TaC コーティングは、物理蒸着技術によって作成された炭化タンタル (TaC) コーティングの一種で、次の特徴があります。
1. 高硬度:TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500-3000HV に達することができ、優れた硬質コーティングです。
2.耐摩耗性:TaCコーティングは非常に耐摩耗性があり、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。
3. 優れた耐高温性:TaC コーティングは高温環境下でも優れた性能を維持します。
4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは優れた化学的安定性を備えており、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。
炭化钽涂層の物理特性 物理特性 の物性 TaC コーティング | |
密度 / 密度 | 14.3 (g/cm3) |
比放射率 / 比放射率 | 0.3 |
熱膨張係数 / 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
努氏硬度 / 硬度 (HK) | 2000 香港 |
電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5オーム*センチメートル |
熱安定性・熱安定性 | <2500℃ |
石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更 | -10~-20μm |
塗層厚さ / コーティング厚さ | ≥20um 代表値 (35um±10um) |