エピタキシー装置用 TaC コーティングサセプター

簡単な説明:

VET は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な炭化タンタル (TaC) コーティングを提供します。 VET の最先端のコーティング プロセスにより、炭化タンタル (TaC) コーティングが高純度、高温安定性、高い化学耐性を実現し、SIC/GAN 結晶と EPI 層の製品品質が向上し、主要なリアクター コンポーネントの寿命が延長されます。炭化タンタルTaCコーティングの使用は、エッジの問題を解決し、結晶成長の品質を向上させることであり、VETは炭化タンタルコーティング技術(CVD)を画期的に解決し、国際先進レベルに達しました。


製品詳細

製品タグ

TaCコーティング基板は次のような薄膜でできています。炭化タンタルエピタキシャル装置の基板表面に塗布される材料。TaCコーティング多くの優れた特性を備えており、理想的な選択肢となります。

TaC コーティングは、物理蒸着技術によって作成された炭化タンタル (TaC) コーティングの一種で、次の特徴があります。

1. 高硬度:TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500-3000HV に達することができ、優れた硬質コーティングです。

2.耐摩耗性:TaCコーティングは非常に耐摩耗性があり、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。

3. 優れた耐高温性:TaC コーティングは高温環境下でも優れた性能を維持します。

4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは優れた化学的安定性を備えており、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。

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炭化钽涂層の物理特性 物理特性

の物性 TaC コーティング

密度/ 密度

14.3 (g/cm3)

比放射率 / 比放射率

0.3

熱膨張胀系数 / 熱膨張係数

6.3 10-6/K

努氏の硬さ/ 硬度(HK)

2000 香港

電気抵抗 / 抵抗

1×10-5 オーム*センチメートル

熱稳安定性 / 熱安定性

<2500℃

石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更

-10~-20μm

層の厚さ / 膜厚

≥20um 代表値 (35um±10um)

 

寧波 VET エネルギー技術有限公司は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミック、表面処理などをカバーするハイエンド先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てているハイテク企業です。製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

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