炭化タンタルコーティングされたウェーハ用サセプタ

簡単な説明：

Semicera は高温材料保護技術のリーダーであり、グラファイト基板に信頼性の高い高温保護を提供する CVD 炭化タンタル (TaC) コーティング製品を導入できることを誇りに思っています。グラファイトは耐高温性に優れた材料ですが、高温では酸化しやすく、真空炉内であっても酸化を完全に避けることはできません。当社の CVD 炭化タンタル (TaC) コーティングは、優れた高温性能を維持しながら、グラファイト基板の酸化を効果的に防止できます。TaC は、アルゴンや水素などのガスとの反応に耐える不活性材料でもあります。高温アプリケーションの安定性と信頼性を確保するための炭化タンタル CVD コーティングされた EPI サセプタの詳細については、今すぐセミセラにお問い合わせください。