G5 G10 用 TaC コーティング付きウェハサセプタ

簡単な説明:

Semicera は、ますます厳しくなる半導体プロセス要件を満たす革新的な炭化タンタル (TaC) 製品ラインで半導体業界をリードしています。摂氏 2000 度を超えるエピタキシャル プロセス温度や従来の材料の昇華の問題に直面しても、当社の CvD 炭化タンタル (TaC) は信頼性の高いソリューションを提供します。当社の製品は摂氏 2300 度までの極端な温度に耐えることができ、優れた耐用年数を提供します。Semicera にお問い合わせいただくと、炭化タンタル コーティングされたカバー プレートのカスタマイズされたオプションを含む、当社の高度なソリューションの詳細を知ることができます。当社は、お客様の半導体プロセスに信頼性の高い保護と優れたパフォーマンスを提供し、競争の激しい市場での成功を支援することに尽力しています。


製品の詳細

製品タグ

TaC コーティングは、物理蒸着技術によって製造された炭化タンタル (TaC) コーティングの一種で、次の特徴があります。

1. 高硬度:TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500-3000HV に達することができ、優れた硬質コーティングです。

2.耐摩耗性:TaCコーティングは非常に耐摩耗性があり、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。

3. 優れた耐高温性:TaC コーティングは高温環境下でも優れた性能を維持します。

4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは優れた化学的安定性を備えており、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。

TaCコーティング16
6(1)

炭化钽涂層の物理特性 物理特性

の物性 TaC コーティング

密度/ 密度

14.3 (g/cm3)

比放射率 / 比放射率

0.3

熱膨張胀系数 / 熱膨張係数

6.3 10-6/K

努氏の硬さ/ 硬度(HK)

2000 香港

電気抵抗 / 抵抗

1×10-5 オーム*センチメートル

熱稳安定性 / 熱安定性

<2500℃

石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更

-10~-20μm

層の厚さ / 膜厚

≥20um 代表値 (35um±10um)

 

寧波 VET エネルギー技術有限公司は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミック、表面処理などをカバーするハイエンド先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てているハイテク企業です。製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう!

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