G5 G10 用 TaC コーティング付きウェハサセプタ

簡単な説明:

G5 G10 用 TaC コーティングを施した VET Energy ウェーハ サセプタは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。非常に優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。


製品詳細

製品タグ

TaC コーティングは、物理蒸着技術によって製造された炭化タンタル (TaC) コーティングの一種で、次の特徴があります。

1. 高硬度:TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500-3000HV に達することができ、優れた硬質コーティングです。

2.耐摩耗性:TaCコーティングは非常に耐摩耗性があり、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。

3. 優れた耐高温性:TaC コーティングは高温環境下でも優れた性能を維持します。

4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは優れた化学的安定性を備えており、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。

TaCコーティング16
6(1)

炭化钽涂層の物理特性 物理特性

の物性 TaC コーティング

密度/ 密度

14.3 (g/cm3)

比放射率 / 比放射率

0.3

熱膨張胀系数 / 熱膨張係数

6.3 10-6/K

努氏の硬さ/ 硬度(HK)

2000 香港

電気抵抗 / 抵抗

1×10-5 オーム*センチメートル

熱稳安定性 / 熱安定性

<2500℃

石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更

-10~-20μm

層の厚さ / 膜厚

≥20um 代表値 (35um±10um)

 

寧波 VET エネルギー技術有限公司は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミック、表面処理などをカバーするハイエンド先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てているハイテク企業です。製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

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