LMJ加工のメリット
通常のレーザー加工に固有の欠陥は、レーザー レーザー マイクロ ジェット (LMJ) テクノロジーを賢く使用して、水と空気の光学特性を伝播することで克服できます。この技術により、加工された高純度水ジェット内で完全に反射されたレーザーパルスが、光ファイバーと同様に、邪魔されることなく加工表面に到達することが可能になります。使用の観点から見ると、LMJ テクノロジーの主な特徴は次のとおりです。
1.レーザー光は柱状（平行）構造です。
2.レーザーパルスは、環境干渉から保護されたウォータージェットのような光ファイバー内で送信されます。
3.レーザー光はLMJ装置内で集光され、加工プロセス全体を通じて加工面の高さは変化しないため、加工プロセス中に加工深さの変化に合わせて焦点を合わせ続ける必要がありません。
4. 各レーザーパルス中にワークピース材料のアブレーションが発生することに加えて、各パルスの開始から次のパルスまでの各単位時間の約 99% で、加工された材料はリアルタイムで冷却されます。水を除去するため、熱影響部と再溶融層がほぼ消去されますが、高い処理効率が維持されます。
5.加工面の清掃を続けてください。
| 一般仕様 | LCSA-100 | LCSA-200 |
| カウンタートップのボリューム | 125×200×100 | 460×460×300 |
| 直線軸XY | リニアモーター。リニアモーター | リニアモーター。リニアモーター |
| 直線軸 Z | 100 | 300 |
| 位置決め精度 μm | +/-5 | +/-3 |
| 繰り返し位置決め精度 μm | +/-2 | +/-1 |
| 加速G | 0.5 | 1 |
| 数値制御 | 3軸 | 3軸 |
| Lアセル |
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| レーザーの種類 | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd:YAG、パルス |
| 波長 nm | 532/1064 | 532/1064 |
| 定格電力 W | 50/100/200 | 200/400 |
| ウォータージェット |
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| ノズル径μm | 25-80 | 25-80 |
| ノズルプレッシャーバー | 100-600 | 0-600 |
| サイズ/重量 |
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| 寸法（機械） (幅×長さ×高さ) | 1050×800×1870 | 1200×1200×2000 |
| 寸法 (制御盤) (幅 x 長さ x 高さ) | 700×2300×1600 | 700×2300×1600 |
| 重量（装備）kg | 1170 | 2500-3000 |
| 重量（制御盤）kg | 700-750 | 700-750 |
| 総合エネルギー消費量 |
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| I入力 | AC230V +6%/-10%、単方向 50/60Hz ±1% | AC400V +6%/-10%、三相50/60Hz ±1% |
| ピーク値 | 2.5kVA | 2.5kVA |
| Jオーイン | 10m電源ケーブル：P+N+E、1.5mm2 | 10m電源ケーブル：P+N+E、1.5mm2 |
| 半導体業界のユーザーのアプリケーション範囲 | ≤4インチの丸型インゴット ≤4インチのインゴットスライス ≤4インチのインゴットスクライビング
| ≤6インチの丸型インゴット ≤6インチのインゴットスライス ≤6インチのインゴットスクライビング この機械は 8 インチの円形/スライス/スライスの理論値を満たしていますが、具体的な実際の結果を得るには、切断戦略を最適化する必要があります。 |
