SiC コーティングされたサセプタは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。当社は特許取得済みの技術を使用して、極めて高純度、良好なコーティング均一性、優れた耐用年数に加え、高い耐薬品性と熱安定性を備えた SiC コーティングサセットポートを製造しています。
当社製品の特徴:
1. 1700℃までの高温耐酸化性。
2. 高純度、均熱性
3. 酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する優れた耐食性。
4. 高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性のある
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本物性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 代表値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCC βフェーズ多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm3 |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマ私導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
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