VET Energy PECVD ローディング トレイは、PECVD (プラズマ化学蒸着) プロセス用に設計された精密キャリアです。この高品質な蒸着グラファイトトレイは、高純度、高密度のグラファイト材料で作られています。耐高温性、耐食性、寸法安定性などに優れています。 PECVDプロセスに安定したキャリアプラットフォームを提供し、成膜の均一性と平坦性を保証します。
VET Energy PECVD ローディング トレイは、半導体、太陽光発電、LED およびその他の分野で広く使用されています。例えば：
▪ 半導体: シリコン ウェーハやエピタキシャル ウェーハなどの半導体材料の PECVD プロセス。
▪ 太陽光発電: 太陽電池薄膜の PECVD プロセス。
▪ LED: LED チップの PECVD プロセス。
製品の利点
▪フィルムの品質を向上させる:均一な成膜を確保し、膜品質を向上させます。
▪機器の寿命を延ばす:優れた耐食性により、PECVD装置の寿命を延ばします。
▪生産コストの削減:高品質のグラファイトトレイはスクラップ率を減らし、生産コストを削減します。
SGL のグラファイト素材:
| 代表的なパラメータ: R6510 | |||
| 索引 | 試験規格 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | グラム/センチメートル3 |
| 開気孔率 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×103 | MPa |
| 熱膨張(20～200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率の太陽電池製造用に特別に設計されており、G12 大型ウェーハ処理をサポートします。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減が可能になります。
| アイテム | タイプ | ウェーハキャリアの数 |
| PEVCD グレファイト ボート - 156 シリーズ | 156-13 グレファイトボート | 144 |
| 156-19 グレファイトボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイト ボート - 125 シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
