PECVD グラファイト ウェーハ サポート

VET Energy PECVD プロセス グラファイト ウェーハ サポートは、PECVD (プラズマ強化化学気相成長) プロセス用に設計されたコア消耗品です。この製品は、高純度、高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐食性、寸法安定性などの特性を備えており、PECVDプロセスに安定した支持プラットフォームを提供し、成膜の均一性と平坦性を保証します。

VET Energy グラファイト ウェーハ サポートの「グラファイト サポート」設計は、ウェーハを効果的にサポートするだけでなく、高温高圧 PECVD 環境での熱安定性を提供し、プロセスの安定性を確保します。

VET Energy PECVD プロセスのグラファイト ウェーハ サポートには次の特徴があります。

▪高純度:不純物含有量が極めて低く、フィルムの汚染を回避し、フィルムの品質を確保します。

▪高密度:高密度、高機械強度、高温高圧PECVD環境に耐えることができます。

▪優れた寸法安定性:高温での寸法変化が小さく、プロセスの安定性が確保されます。

▪優れた熱伝導性：効果的に熱を伝達し、ウェーハの過熱を防ぎます。

▪強い耐食性:各種腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えます。

▪カスタマイズされたサービス:顧客のニーズに応じて、さまざまなサイズと形状のグラファイトサポートテーブルをカスタマイズできます。