PECVD用グラファイト基板ウェーハホルダー

VET Energy グラファイト基板ウェーハ ホルダーは、PECVD (プラズマ強化化学蒸着) プロセス用に設計された精密キャリアです。この高品質グラファイト基板ホルダーは、高純度、高密度グラファイト材料で作られており、耐高温性、耐食性、寸法安定性などに優れています。 PECVDプロセスに安定した支持プラットフォームを提供し、膜堆積の均一性と平坦性を保証します。

VET Energy PECVD プロセス グラファイト ウェーハ サポート テーブルには次の特徴があります。

▪高純度:不純物含有量が極めて低く、フィルムの汚染を回避し、フィルムの品質を保証します。

▪高密度:高密度、高機械強度、高温高圧PECVD環境に耐えることができます。

▪優れた寸法安定性:高温での寸法変化が小さく、プロセスの安定性が確保されます。

▪優れた熱伝導性：効果的に熱を伝達し、ウェーハの過熱を防ぎます。

▪強い耐食性:さまざまな腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えることができます。

▪カスタマイズされたサービス:顧客のニーズに応じて、さまざまなサイズと形状のグラファイトサポートテーブルをカスタマイズできます。

製品の利点

▪フィルムの品質を向上させる:均一な成膜を確保し、膜品質を向上させます。

▪機器の寿命を延ばす:優れた耐食性により、PECVD装置の寿命を延ばします。

▪生産コストの削減:高品質のグラファイトトレイはスクラップ率を減らし、生産コストを削減します。