VET Energy グラファイト ウェーハ ボートは、半導体、太陽光発電、その他の産業の蒸着プロセス向けに調整された高品質の消耗品です。高純度、高密度のグラファイト材料で作られたこの製品は、優れた耐高温性、耐食性、寸法安定性などの特性を備えており、薄膜蒸着の均一性と平坦性を確保するための蒸着プロセスに安定したキャリアプラットフォームを提供できます。 。
VET Energy の PECVD グラファイト ボートは、高純度等方性グラファイトを使用して製造されており、気孔率 15% 未満と表面粗さ Ra≤1.6μm を特徴としています。優れた寸法安定性と熱伝導性により、均一な成膜が保証され、電池効率が向上します。
SGL のグラファイト素材:
| 代表的なパラメータ: R6510 | |||
| 索引 | 試験規格 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | グラム/センチメートル3 |
| 開気孔率 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×103 | MPa |
| 熱膨張(20～200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率の太陽電池製造用に特別に設計されており、G12 大型ウェーハ処理をサポートします。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減が可能になります。
| アイテム | タイプ | ウェーハキャリアの数 |
| PEVCD グレファイト ボート - 156 シリーズ | 156-13 グレファイトボート | 144 |
| 156-19 グレファイトボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイト ボート - 125 シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
