太陽電池パネル用高純度グラファイトPECVDボート

簡単な説明:

1). 長期使用において「カラーレンズ」の発生を防止するため、「カラーレンズ」除去技術を採用しました。
2). 高純度、低不純物含有量、高強度のSGL輸入グラファイト材料で作られています。
3). セラミックアセンブリには、耐腐食性と耐錆性に優れた 99.9% セラミックを使用しています。
4). 精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保します。

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製品詳細

製品タグ

太陽電池パネル用高純度グラファイトPECVDボート

説明
1). 長期使用において「カラーレンズ」の発生を防止するため、「カラーレンズ」除去技術を採用しました。
2). 高純度、低不純物含有量、高強度のSGL輸入グラファイト材料で作られています。
3). セラミックアセンブリには、耐腐食性と耐錆性に優れた 99.9% セラミックを使用しています。
4). 精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保します。

仕様

アイテム	タイプ	ウエハキャリア番号
PECVDグラファイトボート — 156シリーズ	156-13 グラファイトボート	144
	156-19 グラファイトボート	216
	156-21 グラファイトボート	240
	156-23 グラファイトボート	308
PECVDグラファイトボート — 125シリーズ	125-15 グラファイトボート	196
	125-19 グラファイトボート	252
	125-21 グラファイトボート	280