ソーラーパネル用高純度グラファイトPECVDボート

簡単な説明：

1)。「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」を確実に使用しないようにするために採用されました。
2)。高純度、低不純物含有量、高強度を備えたSGL輸入グラファイト材料で作られています。
3)。セラミックアセンブリには99.9%のセラミックを使用しており、強力な耐食性能と防錆性能を備えています。
4)。精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保しています。

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製品の詳細

製品タグ

ソーラーパネル用高純度グラファイトPECVDボート

説明
1)。「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」を確実に使用しないようにするために採用されました。
2)。高純度、低不純物含有量、高強度を備えたSGL輸入グラファイト材料で作られています。
3)。セラミックアセンブリには99.9%のセラミックを使用しており、強力な耐食性能と防錆性能を備えています。
4)。精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保しています。

仕様

アイテム	タイプ	ウェーハキャリアの数
PECVDグラファイトボート — 156シリーズ	156-13 グラファイトボート	144
	156-19 グラファイトボート	216
	156-21 グラファイトボート	240
	156-23 グラファイトボート	308
PECVDグラファイトボート — 125シリーズ	125-15 グラファイトボート	196
	125-19 グラファイトボート	252
	125-21 グラファイトボート	280