グラファイトボート

PECVD グラファイトボートは、プラズマ化学気相成長 (PECVD) プロセスでシリコンウェーハを搬送するための重要な部品です。主に太陽電池のパッシベーションや反射防止膜の作製工程で使用されます。

VET Energy は、高品質の PECVD グラファイトボートと関連サービスを提供します。当社の製品は、長い耐用年数、優れた温度均一性、最適化されたガス流分布を特徴としています。革新的な設計と厳格な品質管理を通じて、当社は業界のグラファイトボートの主要なソリューションプロバイダーになりました。当社には CAS の専門技術チームと独自の研究所があり、以下のような主要な利点をもたらします。 ▪ 独立した研究開発能力 ▪ 精密製造 ▪ 専門技術チーム ▪ 包括的な品質システム ▪ 迅速な対応サービス ▪ カスタマイズ機能

pecvd用グラファイトボート介在プレート

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