のCVD TaC コーティングvet-china のプレート サセプターは、化学蒸着 (CVD) プロセスで高性能を発揮するように設計されています。このサセプタの特徴は堅牢です。TaC（炭化タンタル）コーティング優れた熱安定性、耐薬品性、耐久性を備えており、半導体製造や高温用途に最適なソリューションです。のCVD TaCコーティング酸化や摩耗に対する優れた耐性を保証し、過酷な環境でもサセプターの完全性と機能を維持できます。
獣医-中国のCVD TaC コーティングプレート サセプタは、CVD プロセス中に熱を均一に分散する能力に優れており、正確な層の堆積を保証し、半導体製造の効率を高めます。 Ta-C コーティングは化学腐食に対する保護を強化し、サセプタの寿命を延ばし、全体的な性能を向上させます。高度な CVD サセプタ技術と高品質の TaC 化学コーティングを組み合わせたこのサセプタは、高温環境での精度と信頼性が必要な産業にとって重要なコンポーネントです。
半導体の製造で使用される場合でも、その他のハイテク用途で使用される場合でも、CVD TaC コーティングプレートサセプタ現代の製造業の要求を満たすように設計されています。 Semicera の革新性と品質に対する評判に裏打ちされたこの製品は、優れた性能と長期にわたる耐久性を提供し、CVD プロセスの信頼できる選択肢となっています。
TaC コーティングは、物理蒸着技術によって製造された炭化タンタル (TaC) コーティングの一種で、次の特徴があります。
1. 高硬度：TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500-3000HV に達することができ、優れた硬質コーティングです。
2.耐摩耗性：TaCコーティングは非常に耐摩耗性があり、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。
3. 優れた耐高温性：TaC コーティングは高温環境下でも優れた性能を維持します。
4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは優れた化学的安定性を備えており、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 の物性 TaC コーティング | |
| 密度/ 密度 | 14.3 (g/cm3) |
| 比放射率 / 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏の硬さ/ 硬度（HK） | 2000 香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5 オーム*センチメートル |
| 熱稳安定性 / 熱安定性 | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更 | -10~-20μm |
| 層の厚さ / 膜厚 | ≥20um 代表値 (35um±10um) |
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