TaC 炭化タンタルコーティングを施したカスタマイズ部品

簡単な説明:

Semicera は、ますます厳しくなる要件を満たす炭化タンタル (TaC) 製品ラインで半導体業界をリードしています。8 インチの炭化ケイ素 (SiC) ウェーハの出現により、さまざまな半導体プロセス、特に温度が摂氏 2000 度を超えるエピタキシャル プロセスに対する要件が増大しています。炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトなどの従来のベース材料は、多くの場合高温で昇華し、エピタキシャルプロセスを破壊します。しかし、CvD 炭化タンタル (TaC) はこの問題を効果的に解決し、摂氏 2300 度までの温度に耐え、より長い耐用年数を実現します。タンタルカーバイド Tac CvD コーティングされたカスタム部品についてはセミセラにお問い合わせいただき、当社の高度なソリューションの詳細をご覧ください。


製品の詳細

製品タグ

TaC コーティングは、物理蒸着技術によって製造された炭化タンタル (TaC) コーティングの一種で、次の特徴があります。

1. 高硬度:TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500-3000HV に達することができ、優れた硬質コーティングです。

2.耐摩耗性:TaCコーティングは非常に耐摩耗性があり、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。

3. 優れた耐高温性:TaC コーティングは高温環境下でも優れた性能を維持します。

4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは優れた化学的安定性を備えており、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。

TaCコーティング10
6(1)

炭化钽涂層の物理特性 物理特性

の物性 TaC コーティング

密度/ 密度

14.3 (g/cm3)

比放射率 / 比放射率

0.3

熱膨張胀系数 / 熱膨張係数

6.3 10-6/K

努氏の硬さ/ 硬度(HK)

2000 香港

電気抵抗 / 抵抗

1×10-5 オーム*センチメートル

熱稳安定性 / 熱安定性

<2500℃

石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更

-10~-20μm

層の厚さ / 膜厚

≥20um 代表値 (35um±10um)

 

寧波 VET エネルギー技術有限公司は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミック、表面処理などをカバーするハイエンド先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てているハイテク企業です。製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

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