液相エピタキシーLPE用バレルサセプター
EPI (エピタキシー)は、先進的な半導体の製造における重要なプロセスです。これには、基板上に材料の薄層を堆積して、複雑なデバイス構造を作成することが含まれます。 EPI 用の SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプターは、優れた熱伝導率と高温耐性により、EPI 反応器のサセプターとして一般的に使用されます。とCVD-SiCコーティング、汚染、浸食、熱衝撃に対する耐性が高まります。これにより、サセプタの寿命が長くなり、膜の品質が向上します。
液相エピタキシー LPE 用バレル サセプターの利点:
汚染の軽減:SiC の不活性な性質により、サセプタ表面への不純物の付着が防止され、堆積膜の汚染のリスクが軽減されます。
耐浸食性の向上:SiC は従来のグラファイトよりも侵食に対する耐性が大幅に優れているため、サセプタの寿命が長くなります。
熱安定性の向上:SiC は熱伝導性に優れており、大きな歪みなく高温に耐えることができます。
強化されたフィルム品質:改善された熱安定性と低減された汚染により、改善された均一性と厚さ制御を備えた高品質の堆積膜が得られます。
寧波 VET エネルギー技術有限公司は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状カーボンなどの表面処理などのハイエンド先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てているハイテク企業です。コーティング、熱分解炭素コーティングなど、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。
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