פחמן / פחמן מרוכבים(להלן: "C / C או CFC") הוא מעין חומר מרוכב אשר מבוסס על פחמן ומחוזק על ידי סיבי פחמן ומוצריו (פרפורם סיבי פחמן). יש לו גם את האינרציה של פחמן וגם את החוזק הגבוה של סיבי פחמן. יש לו תכונות מכניות טובות, עמידות בחום, עמידות בפני קורוזיה, שיכוך חיכוך ומאפייני מוליכות תרמית וחשמלית
CVD-SiCלציפוי יש מאפיינים של מבנה אחיד, חומר קומפקטי, עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות לחמצון, טוהר גבוה, עמידות לחומצות ואלקליות ומגיב אורגני, עם תכונות פיזיקליות וכימיות יציבות.
בהשוואה לחומרי גרפיט בטוהר גבוה, הגרפיט מתחיל להתחמצן ב-400C, מה שיגרום לאובדן אבקה עקב חמצון, וכתוצאה מכך זיהום סביבתי למכשירים היקפיים ותאי ואקום, ולהגביר זיהומים בסביבה בעלת טוהר גבוה.
עם זאת, ציפוי SiC יכול לשמור על יציבות פיזית וכימית ב-1600 מעלות, הוא נמצא בשימוש נרחב בתעשייה המודרנית, במיוחד בתעשיית המוליכים למחצה.
חברתנו מספקת שירותי ציפוי SiC בשיטת CVD על פני השטח של גרפיט, קרמיקה וחומרים אחרים, כך שגזים מיוחדים המכילים פחמן וסיליקון מגיבים בטמפרטורה גבוהה לקבלת מולקולות SiC בטוהר גבוה, מולקולות המופקדות על פני החומרים המצופים, יצירת שכבת מגן SIC. ה-SIC שנוצר מחובר היטב לבסיס הגרפיט, נותן לבסיס הגרפיט תכונות מיוחדות, ובכך הופך את פני השטח של הגרפיט לקומפקטי, נטול נקבוביות, עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה ועמידות בפני חמצון.
מאפיינים עיקריים:
1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה:
עמידות החמצון עדיין טובה מאוד כאשר הטמפרטורה גבוהה עד 1600 C.
2. טוהר גבוה: נעשה על ידי שקיעת אדים כימית בתנאי הכלרה בטמפרטורה גבוהה.
3. עמידות בשחיקה: קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
4. עמידות בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
מפרטים עיקריים של ציפוי CVD-SIC:
| SiC-CVD | ||
| צְפִיפוּת | (g/cc)
| 3.21 |
| חוזק כפיפה | (Mpa)
| 470 |
| התפשטות תרמית | (10-6/K) | 4
|
| מוליכות תרמית | (W/mK) | 300
|
