4 אינץ' GaN על Wafer SiC

תיאור קצר:

4 אינץ' GaN on SiC wafer של VET Energy הוא מוצר מהפכני בתחום האלקטרוניקה הכוחנית. רקיק זה משלב את המוליכות התרמית המצוינת של סיליקון קרביד (SiC) עם צפיפות ההספק הגבוהה ואובדן הנמוך של גליום ניטריד (GaN), מה שהופך אותו לבחירה אידיאלית לייצור התקנים בעלי תדר גבוה ועוצמה גבוהה. VET Energy מבטיחה את הביצועים והעקביות המצוינים של הפרוסה באמצעות טכנולוגיה אפיטקסיאלית MOCVD מתקדמת.

שלחו לנו מייל הורד כ-PDF

פירוט המוצר

תגיות מוצר

קו המוצרים של VET Energy אינו מוגבל ל-GaN על פרוסות SiC. אנו מספקים גם מגוון רחב של חומרי מצע מוליכים למחצה, כולל Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer וכו'. בנוסף, אנו גם מפתחים באופן פעיל חומרים חדשים מוליכים למחצה רחבים, כגון Gallium Oxide Ga2O3 ו-AlN Wafer, כדי לענות על הדרישה העתידית של תעשיית האלקטרוניקה הכוחנית למכשירים בעלי ביצועים גבוהים יותר.

VET Energy מספקת שירותי התאמה אישית גמישים, ויכולה להתאים אישית שכבות אפיטקסיאליות של GaN בעוביים שונים, סוגים שונים של סימום וגדלים שונים של פרוסות בהתאם לצרכים הספציפיים של הלקוחות. בנוסף, אנו מספקים גם תמיכה טכנית מקצועית ושירות לאחר המכירה כדי לעזור ללקוחות לפתח במהירות מכשירים אלקטרוניים בעלי ביצועים גבוהים.

מפרט WAFING

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-Ps-Grade,Sl=Smi-Insulating

פָּרִיט	8 אינץ'	6 אינץ'			4 אינץ'
פָּרִיט	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Bow(GF3YFCD)-ערך אבסולוטי	≤15 מיקרומטר	≤15 מיקרומטר	≤25 מיקרומטר		≤15 מיקרומטר
עיוות (GF3YFER)	≤25 מיקרומטר	≤25 מיקרומטר	≤40 מיקרומטר		≤25 מיקרומטר
LTV(SBIR)-10mmx10mm	< 2 מיקרומטר
Wafer Edge	שיפוע

גימור פני השטח

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-Ps-Grade,Sl=Smi-Insulating

פָּרִיט	8 אינץ'	6 אינץ'			4 אינץ'
	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
גימור פני השטח	פוליש אופטי דו צדדי, Si-Face CMP
חספוס פני השטח	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm
צ'יפס אדג'	אין מותר (אורך ורוחב≥0.5 מ"מ)
כניסות	אין מותר
שריטות (Si-Face)	כמות.≤5, מצטבר אורך≤0.5×קוטר פרוס	כמות.≤5, מצטבר אורך≤0.5×קוטר פרוס			כמות.≤5, מצטבר אורך≤0.5×קוטר פרוס
סדקים	אין מותר
אי הכללת קצה	3 מ"מ