Il vassoio in fogli di carburo di silicio è un componente chiave utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare vassoi in fogli di carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità del rivestimento e un'eccellente durata, nonché elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.
VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come SiC, Tac, carbonio pirolitico, carbonio vetroso, ecc., può fornire varie parti personalizzate per l'industria dei semiconduttori e fotovoltaica. Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.
Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali sempre più avanzati e abbiamo elaborato un'esclusiva tecnologia brevettata, che può rendere il legame tra il rivestimento e il substrato più stretto e meno incline al distacco.
Caratteristiche dei nostri prodotti:
1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 ℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Durata di servizio più lunga e più durevole
CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento | |
性质 / Proprietà | 典型数值 /Valore tipico |
晶体结构 / Struttura in cristallo | Fase β dell'FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densità | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Durezza | 2500 tonnellate di carico (carico di 500 g) |
晶粒大小 / Granulometria | 2~10μm |
纯度 / Purezza chimica | 99,99995% |
热容 / Capacità termica | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 /Temperatura di sublimazione | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Resistenza alla flessione | 415 MPa RT a 4 punti |
杨氏模量 / Modulo di Young | Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃ |
导热系数 /TermelConduttività | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, disponiamo di ulteriori discussioni!