Supporti in grafite rivestiti in SiC, rivestimento in SiC, rivestimento in SiC rivestito con substrato di grafite per semiconduttori

Rivestito in carburo di silicioil disco di grafite serve a preparare uno strato protettivo di carburo di silicio sulla superficie della grafite mediante deposizione e spruzzatura di vapori fisici o chimici. Lo strato protettivo di carburo di silicio preparato può essere saldamente legato alla matrice di grafite, rendendo la superficie della base di grafite densa e priva di vuoti, conferendo alla matrice di grafite proprietà speciali, tra cui resistenza all'ossidazione, resistenza agli acidi e agli alcali, resistenza all'erosione, resistenza alla corrosione, ecc. Allo stato attuale, il rivestimento Gan è uno dei migliori componenti principali per la crescita epitassiale del carburo di silicio.

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Il semiconduttore al carburo di silicio è il materiale centrale del semiconduttore ad ampio gap di banda recentemente sviluppato. I suoi dispositivi hanno le caratteristiche di resistenza alle alte temperature, resistenza all'alta tensione, alta frequenza, alta potenza e resistenza alle radiazioni. Presenta i vantaggi di una rapida velocità di commutazione e di un'elevata efficienza. Può ridurre notevolmente il consumo energetico del prodotto, migliorare l'efficienza di conversione energetica e ridurre il volume del prodotto. Viene utilizzato principalmente nella comunicazione 5G, nella difesa nazionale e nell’industria militare. Il campo RF rappresentato dall’aerospaziale e il campo dell’elettronica di potenza rappresentato dai nuovi veicoli energetici e dalle “nuove infrastrutture” hanno chiare e considerevoli prospettive di mercato sia in campo civile che militare.

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Il substrato in carburo di silicio è il materiale centrale del semiconduttore ad ampio gap di banda recentemente sviluppato. Il substrato in carburo di silicio viene utilizzato principalmente nell'elettronica a microonde, nell'elettronica di potenza e in altri campi. Si trova all'estremità anteriore della catena industriale dei semiconduttori ad ampio gap di banda ed è il materiale chiave del nucleo all'avanguardia e di base. Il substrato in carburo di silicio può essere diviso in due tipi: semi isolante e conduttivo. Tra questi, il substrato semiisolante in carburo di silicio ha un'elevata resistività (resistività ≥ 105 Ω· cm). Il substrato semiisolante combinato con un foglio epitassiale di nitruro di gallio eterogeneo può essere utilizzato come materiale per dispositivi RF, che viene utilizzato principalmente nella comunicazione 5g, nella difesa nazionale e nell'industria militare nelle scene di cui sopra; L'altro è un substrato conduttivo in carburo di silicio con bassa resistività (l'intervallo di resistività è 15 ~ 30 m Ω· cm). L'epitassia omogenea del substrato conduttivo di carburo di silicio e del carburo di silicio può essere utilizzata come materiali per dispositivi di potenza. I principali scenari applicativi sono veicoli elettrici, sistemi di alimentazione e altri campi


Orario di pubblicazione: 21 febbraio 2022
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