Cassetta per wafer in carburo di silicio di lunga durata con rivestimento in SiC

Proprietà del carburo di silicio ricristallizzato

Il carburo di silicio ricristallizzato (R-SiC) è un materiale ad alte prestazioni con una durezza seconda solo al diamante, che si forma ad alta temperatura superiore a 2000 ℃. Conserva molte eccellenti proprietà del SiC, come resistenza alle alte temperature, forte resistenza alla corrosione, eccellente resistenza all'ossidazione, buona resistenza agli shock termici e così via.

● Eccellenti proprietà meccaniche. Il carburo di silicio ricristallizzato ha una maggiore resistenza e rigidità rispetto alla fibra di carbonio, un'elevata resistenza agli urti, può offrire buone prestazioni in ambienti a temperature estreme e può fornire migliori prestazioni di controbilanciamento in una varietà di situazioni. Inoltre, ha anche una buona flessibilità e non si danneggia facilmente con allungamenti e piegature, il che migliora notevolmente le sue prestazioni.

● Elevata resistenza alla corrosione. Il carburo di silicio ricristallizzato ha un'elevata resistenza alla corrosione su una varietà di mezzi, può prevenire l'erosione di una varietà di mezzi corrosivi, può mantenere le sue proprietà meccaniche per lungo tempo, ha una forte adesione, quindi ha una maggiore durata. Inoltre, ha anche una buona stabilità termica, può adattarsi a un certo intervallo di variazioni di temperatura e migliorare il suo effetto applicativo.

● La sinterizzazione non si ritira. Poiché il processo di sinterizzazione non si restringe, nessuno stress residuo causerà deformazioni o screpolature del prodotto e sarà possibile preparare parti con forme complesse e alta precisione.