Stampo per barche CFC composito carbonio-carbonio rivestito in SiC CVD

Breve descrizione:

La barca/stampo CFC rivestito in SiC VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Ha un'ottima resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


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Descrizione del prodotto

Compositi carbonio/carbonio(di seguito denominato "C/C o CFC") è un tipo di materiale composito a base di carbonio e rinforzato con fibra di carbonio e suoi prodotti (preformato in fibra di carbonio). Ha sia l'inerzia del carbonio che l'elevata resistenza della fibra di carbonio. Ha buone proprietà meccaniche, resistenza al calore, resistenza alla corrosione, smorzamento dell'attrito e caratteristiche di conduttività termica ed elettrica

CVD-SiCil rivestimento ha le caratteristiche di struttura uniforme, materiale compatto, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, elevata purezza, resistenza agli acidi e agli alcali e reagente organico, con proprietà fisiche e chimiche stabili.

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche quando la temperatura arriva fino a 1600 C.
2. Elevata purezza: prodotto mediante deposizione di vapori chimici in condizioni di clorazione ad alta temperatura.
3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

晶体结构 / Struttura cristallina

Fase β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)

晶粒大小 / Granulometria

2~10μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700 ℃

抗弯强度 / Resistenza alla flessione

415 MPa RT a 4 punti

杨氏模量 / Modulo di Young

Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃

导热系数 / Conducibilità termica

300W·m-1·K-1

Dilatazione termica / Dilatazione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento SiC, rivestimento TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., può fornire varie parti personalizzate per l'industria dei semiconduttori e fotovoltaica.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali sempre più avanzati e abbiamo elaborato un'esclusiva tecnologia brevettata, che può rendere il legame tra il rivestimento e il substrato più stretto e meno incline al distacco.

Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, disponiamo di ulteriori discussioni!

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