Barca PECVD in grafite ad alta purezza per pannello solare
Descrizione
1). Adottato per eliminare la tecnologia delle "lenti colorate", per garantire l'assenza di "lenti colorate" durante il processo a lungo termine.
2). Realizzato in materiale di grafite importato da SGL con elevata purezza, basso contenuto di impurità ed elevata resistenza.
3). Utilizzo della ceramica al 99,9% per l'assemblaggio in ceramica con elevate prestazioni di resistenza alla corrosione e antibruciore.
4). Utilizzando le apparecchiature di elaborazione di precisione per garantire l'accuratezza di ciascuna parte.
Specifica
Articolo | Tipo | Porta wafer numerico |
Barca in grafite PECVD — La serie 156 | 156-13 barchetta in grafite | 144 |
156-19 barchetta in grafite | 216 | |
156-21 barchetta in grafite | 240 | |
156-23 barchetta in grafite | 308 | |
Barca in grafite PECVD — La serie 125 | Barca in grafite 125-15 | 196 |
125-19 barca in grafite | 252 | |
125-21 barchetta in grafite | 280 |
Più prodotti