Barca in wafer di grafite per la deposizione

Breve descrizione:

Il wafer boat in grafite VET Energy è un materiale di consumo di alta qualità su misura per i processi di deposizione nei semiconduttori, nel fotovoltaico e in altri settori. Realizzato in materiale di grafite di elevata purezza e alta densità, questo prodotto ha un'eccellente resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, stabilità dimensionale e altre caratteristiche e può fornire una piattaforma di supporto stabile per il processo di deposizione per garantire l'uniformità e la planarità della deposizione di film sottile .

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Dettagli del prodotto

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La barca in grafite PECVD di VET Energy è prodotta con grafite isostatica di elevata purezza, caratterizzata da porosità inferiore al 15% e rugosità superficiale Ra≤1,6μm. La stabilità dimensionale e la conduttività termica superiori garantiscono una deposizione uniforme della pellicola e una maggiore efficienza delle celle.

Materiale in grafite di SGL:

Parametro tipico: R6510
Indice	Norma di prova	Valore	Unità
Granulometria media	ISO 13320	10	µm
Densità apparente	DIN CEI 60413/204	1.83	g/cm³
Porosità aperta	DIN66133	10	%
Dimensione media dei pori	DIN66133	1.8	µm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN CEI 60413/402	13	μΩm
Resistenza alla flessione	DIN CEI 60413/501	60	MPa
Resistenza alla compressione	DIN 51910	130	MPa
Modulo di Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatazione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

È specificamente progettato per la produzione di celle solari ad alta efficienza, supportando l'elaborazione di wafer G12 di grandi dimensioni. Il design ottimizzato del supporto aumenta significativamente la produttività, consentendo tassi di rendimento più elevati e costi di produzione inferiori.

Articolo	Tipo	Porta wafer numerico
Barca in PEVCD Grephite - La serie 156	156-13 barca in grefite	144
	156-19 barca in grefite	216
	156-21 barca in grefite	240
	156-23 barchetta in grafite	308
Barca in PEVCD Grephite - La serie 125	Barca in grefite 125-15	196
	125-19 barca in grefite	252
	Barca in grafite 125-21	280