Supporto in grafite per processo PECVD

Supporto in grafite per il processo PECVD Immagine in evidenza

Breve descrizione:

Energia IFPPECVD Graphite Boat for Solar Panel è un componente avanzato progettato specificamente per la produzione di pannelli solari ad alte prestazioni. Utilizzata nei processi PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), questa barca in grafite garantisce una movimentazione ottimale dei materiali e una deposizione uniforme di film sottili sulle celle solari. Progettato per garantire precisione e durata, offre conduttività termica superiore, elevata resistenza alla corrosione e contaminazione minima, essenziali per la produzione di pannelli solari efficienti e di alta qualità.

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Energia IFPIl supporto in grafite del processo PECVD è un materiale di consumo di alta qualità realizzato su misura per il processo PECVD (deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma). Questo supporto in grafite è realizzato in materiale di grafite di elevata purezza e alta densità, con eccellente resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, stabilità dimensionale e altre caratteristiche, può fornire una piattaforma di supporto stabile per il processo PECVD, per garantire l'uniformità e la planarità del film sottile deposizione.

I supporti in grafite per il processo PECVD hanno le seguenti caratteristiche:

▪ Elevata purezza: contenuto di impurità estremamente basso, che evita la contaminazione della pellicola e ne garantisce la qualità.

▪ Alta densità: alta densità, elevata resistenza meccanica, in grado di resistere ad ambienti PECVD ad alta temperatura e alta pressione.

▪ Buona stabilità dimensionale: piccola variazione dimensionale ad alta temperatura, garantendo stabilità del processo.

▪ Eccellente conduttività termica: trasferisce efficacemente il calore per prevenire il surriscaldamento del wafer.

▪ Forte resistenza alla corrosione: in grado di resistere all'erosione di vari gas corrosivi e plasma.

▪ Servizio personalizzato: supporti in grafite di diverse dimensioni e forme possono essere personalizzati in base alle esigenze del cliente.

Materiale in grafite di SGL:

Parametro tipico: R6510
Indice	Norma di prova	Valore	Unità
Granulometria media	ISO 13320	10	µm
Densità apparente	DIN CEI 60413/204	1.83	g/cm³
Porosità aperta	DIN66133	10	%
Dimensione media dei pori	DIN66133	1.8	µm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN CEI 60413/402	13	μΩm
Resistenza alla flessione	DIN CEI 60413/501	60	MPa
Resistenza alla compressione	DIN 51910	130	MPa
Modulo di Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatazione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

È specificamente progettato per la produzione di celle solari ad alta efficienza, supportando l'elaborazione di wafer G12 di grandi dimensioni. Il design ottimizzato del supporto aumenta significativamente la produttività, consentendo tassi di rendimento più elevati e costi di produzione inferiori.

Articolo	Tipo	Porta wafer numerico
Barca in PEVCD Grephite - La serie 156	156-13 barca in grefite	144
	156-19 barca in grefite	216
	156-21 barca in grefite	240
	156-23 barchetta in grafite	308
Barca in PEVCD Grephite - La serie 125	Barca in grefite 125-15	196
	125-19 barca in grefite	252
	Barca in grafite 125-21	280