Suscettore a piastra rivestito CVD TaC

Breve descrizione:

Il suscettore a piastre rivestite VET Energy CVD TaC è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Ha un'ottima resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


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ILRivestimento CVD TaCIl Plate Susceptor di Vet-China è progettato per alte prestazioni nei processi di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Questo suscettore presenta un robustoRivestimento TaC (carburo di tantalio)., offrendo eccezionale stabilità termica, resistenza chimica e durata, rendendolo una soluzione ideale per la produzione di semiconduttori e applicazioni ad alta temperatura. ILRivestimento TaC CVDgarantisce un'ottima resistenza all'ossidazione e all'usura, consentendo al suscettore di mantenere la sua integrità e funzionalità in ambienti difficili.

veterinario-cinaRivestimento CVD TaCPlate Susceptor si distingue per la sua capacità di distribuire uniformemente il calore durante i processi CVD, garantendo una deposizione precisa dello strato e migliorando l'efficienza della fabbricazione dei semiconduttori. Il rivestimento Ta-C fornisce una protezione aggiuntiva contro la corrosione chimica, prolungando la durata del suscettore e migliorando le prestazioni complessive. Con una combinazione di tecnologia avanzata del suscettore CVD e rivestimenti chimici TaC di alta qualità, questo suscettore è un componente chiave per le industrie che richiedono precisione e affidabilità in ambienti ad alta temperatura.

Sia che venga utilizzato nella produzione di semiconduttori o in altre applicazioni high-tech, ilSuscettore a piastra rivestita in TaC CVDè progettato per soddisfare le esigenze della produzione moderna. Supportato dalla reputazione di Semicera per innovazione e qualità, questo prodotto offre prestazioni superiori e lunga durata, rendendolo una scelta affidabile per i processi CVD.

Il rivestimento TaC è un tipo di rivestimento in carburo di tantalio (TaC) preparato mediante tecnologia di deposizione fisica da vapore, ha le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza: la durezza del rivestimento TaC è elevata, solitamente può raggiungere 2500-3000 HV, è un eccellente rivestimento duro.

2. Resistenza all'usura: il rivestimento TaC è molto resistente all'usura, il che può ridurre efficacemente l'usura e i danni delle parti meccaniche durante l'uso.

3. Buona resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC può mantenere le sue eccellenti prestazioni anche in ambienti ad alta temperatura.

4. Buona stabilità chimica: il rivestimento TaC ha una buona stabilità chimica e può resistere a molte reazioni chimiche, come acidi e basi.

Rivestimento TaC13
Rivestimento TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Proprietà fisiche di TaC rivestimento

密度/ Densità

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emissività specifica

0,3

热膨胀系数 / Coefficiente di dilatazione termica

6.310-6/K

努氏硬度/ Durezza (HK)

2000 Hong Kong

电阻 / Resistenza

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Stabilità termica

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Cambia la dimensione della grafite

-10~-20um

涂层厚度 / Spessore del rivestimento

Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologie che coprono grafite, carburo di silicio, ceramica, trattamenti superficiali e così via. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

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