Suscettore wafer con rivestimento TaC per G5 G10

Breve descrizione:

Semicera è leader nel settore dei semiconduttori con una linea innovativa di prodotti in carburo di tantalio (TaC) per soddisfare i requisiti sempre più severi dei processi dei semiconduttori.Che si tratti di temperature di processo epitassiali superiori a 2000 gradi Celsius o di problemi di sublimazione con materiali tradizionali, il nostro carburo di tantalio (TaC) CvD fornisce una soluzione affidabile.I nostri prodotti possono resistere a temperature estreme fino a 2300 gradi Celsius e garantire un'eccellente durata.Contattando Semicera, potrete saperne di più sulle nostre soluzioni avanzate, comprese le opzioni personalizzate per piastre di copertura rivestite in carburo di tantalio.Ci impegniamo a fornire una protezione affidabile e prestazioni eccellenti per il vostro processo di lavorazione dei semiconduttori per aiutarvi ad avere successo in un mercato altamente competitivo.

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Dettagli del prodotto

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Il rivestimento TaC è un tipo di rivestimento in carburo di tantalio (TaC) preparato mediante tecnologia di deposizione fisica da vapore, ha le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza: la durezza del rivestimento TaC è elevata, solitamente può raggiungere 2500-3000 HV, è un eccellente rivestimento duro.

2. Resistenza all'usura: il rivestimento TaC è molto resistente all'usura, il che può ridurre efficacemente l'usura e i danni delle parti meccaniche durante l'uso.

3. Buona resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC può mantenere le sue eccellenti prestazioni anche in ambienti ad alta temperatura.

4. Buona stabilità chimica: il rivestimento TaC ha una buona stabilità chimica e può resistere a molte reazioni chimiche, come acidi e basi.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietà fisiche di TaC Rivestimento
密度/ Densità	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissività specifica	0,3
热膨胀系数 / Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
努氏硬度/ Durezza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistenza	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilità termica	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Cambia la dimensione della grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologie che coprono grafite, carburo di silicio, ceramica, trattamenti superficiali e così via.I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, disponiamo di ulteriori discussioni!