vet-kína kynnir hinn nýstárlega Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, alhliða lausn fyrir háþróaða hálfleiðaravinnslu. Þetta obláta meðhöndlunarkerfi er hannað af nákvæmni og veitir óviðjafnanlega stöðugleika og uppröðun, sem skiptir sköpum fyrir afkastamikið framleiðsluumhverfi.
Vertical Column Wafer Boat & Pedestal er smíðaður með úrvalsefnum sem tryggja varmastöðugleika og viðnám gegn efnatæringu, sem gerir hann hentugan fyrir krefjandi hálfleiðaraframleiðsluferla. Einstök lóðrétt súluhönnun þess styður obláta á öruggan hátt og dregur úr hættu á misstillingu og hugsanlegum skemmdum við flutning og vinnslu.
Með samþættingu dýralæknis-kína lóðrétta súluskífubáts og stalls geta hálfleiðaraframleiðendur búist við bættri afköstum, lágmarks niður í miðbæ og aukinni afrakstur vöru. Þetta kerfi er samhæft við ýmsar oblátastærðir og stillingar, sem býður upp á sveigjanleika og sveigjanleika fyrir mismunandi framleiðsluþarfir.
Skuldbinding dýralæknis-kína við afburðahald tryggir að hver lóðréttur súluskúffubátur og pallur uppfylli ströngustu kröfur um gæði og frammistöðu. Með því að velja þessa nýjustu lausn fjárfestir þú í framtíðarsvörun nálgun við meðhöndlun obláta sem hámarkar skilvirkni og áreiðanleika í hálfleiðaraframleiðslu.
Eiginleikar endurkristallaðs kísilkarbíðs
Endurkristölluð kísilkarbíð (R-SiC) er afkastamikið efni með hörku sem er næst demant, sem myndast við háan hita yfir 2000 ℃. Það heldur mörgum framúrskarandi eiginleikum SiC, svo sem styrkleika við háan hita, sterka tæringarþol, framúrskarandi oxunarþol, góða hitaáfallsþol og svo framvegis.
● Framúrskarandi vélrænni eiginleikar. Endurkristölluð kísilkarbíð hefur meiri styrk og stífleika en koltrefjar, hár höggþol, getur skilað góðum árangri í miklum hitaumhverfi, getur gegnt betri mótvægi við margvíslegar aðstæður. Að auki hefur það einnig góðan sveigjanleika og skemmist ekki auðveldlega við teygjur og beygjur, sem bætir afköst þess til muna.
● Mikil tæringarþol. Endurkristölluð kísilkarbíð hefur mikla tæringarþol gegn ýmsum miðlum, getur komið í veg fyrir veðrun á ýmsum ætandi miðlum, getur viðhaldið vélrænni eiginleikum sínum í langan tíma, hefur sterka viðloðun, þannig að það hefur lengri endingartíma. Að auki hefur það einnig góðan hitastöðugleika, getur lagað sig að ákveðnum hitastigsbreytingum, bætt beitingaráhrif þess.
● Sintering minnkar ekki. Vegna þess að hertunarferlið minnkar ekki mun engin leifarstreita valda aflögun eða sprungum á vörunni og hægt er að útbúa hluta með flóknum formum og mikilli nákvæmni.
| 重结晶碳化硅物理特性 Eðliseiginleikar endurkristallaðs kísilkarbíðs | |
| 性质 / Eign | 典型数值 / Dæmigert gildi |
| 使用温度/ Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (minnkandi umhverfi) |
| SiC含量/ SiC innihald | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Ókeypis Si efni | < 0,1% |
| 体积密度/Magnþéttleiki | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Augljós porosity | < 16% |
| 抗压强度/ Þjöppunarstyrkur | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kaldur beygjustyrkur | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Heitt beygjustyrkur | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Hitaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Varmaleiðni @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Teygjustuðull | 240 GPa |
| 抗热震性/ Hitaáfallsþol | Einstaklega gott |
VET Energy er theraunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með CVD húðun,getur útvegaðýmislegtsérsniðnir hlutar fyrir hálfleiðara og ljósvakaiðnað. OTækniteymið þitt kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnirfyrir þig.
Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að veita fullkomnari efni,oghafa þróað einkaleyfisbundna tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun | |
| 性质 / Eign | 典型数值 / Dæmigert gildi |
| 晶体结构 / Kristallsbygging | FCC β fasi多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Þéttleiki | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / hörku | 2500 维氏硬度（500g álag） |
| 晶粒大小 / Kornastærð | 2~10μm |
| 纯度 / Chemical Purity | 99,99995% |
| 热容 / Hitageta | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimation Hitastig | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Beygjustyrkur | 415 MPa RT 4 punkta |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalLeiðni | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hitastækkun (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!
