SiC húðaður grafítberi / susceptor

Stutt lýsing:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor er afkastamikil vara sem er hönnuð til að veita stöðuga og áreiðanlega afköst yfir langan tíma. Það hefur frábæra hitaþol og hitauppstreymi einsleitni, hár hreinleika, rofþol, sem gerir það að fullkominni lausn fyrir oblátavinnsluforrit.

 


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

SiC húðaður suscetpor er lykilþáttur sem notaður er í ýmsum hálfleiðara framleiðsluferlum. Við notum einkaleyfisverndaða tækni okkar til að búa til SiC húðaða furu með einstaklega miklum hreinleika, góða einsleitni húðunar og framúrskarandi endingartíma, auk mikillar efnaþols og hitastöðugleika.

Eiginleikar vara okkar:

1. Oxunarþol við háan hita allt að 1700 ℃.
2. Hár hreinleiki og hitauppstreymi einsleitni
3. Framúrskarandi tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
4. Hár hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
5. Lengri endingartími og endingargóðari

flytjandi 2 flytjandi 4

flytjandi 1 flytjandi 3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun

性质 / Eign

典型数值 / Dæmigert gildi

晶体结构 / Kristallsbygging

FCC β fasi多晶,主要为(111)取向

密度 / Þéttleiki

3,21 g/cm³

硬度 / hörku

2500 维氏硬度(500g álag)

晶粒大小 / Kornastærð

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99,99995%

热容 / Hitageta

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Hitastig

2700 ℃

抗弯强度 / Beygjustyrkur

415 MPa RT 4 punkta

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃

导热系数 / ThermalLeiðni

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Hitastækkun (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Fyrri:
  • Næst:

  • WhatsApp netspjall!