PECVD hleðslubakki Útfellingar grafítbakki

PECVD hleðslubakki Útfelling grafítbakki Valin mynd

Stutt lýsing:

PECVD hleðslubakki VET Energy er hannaður til að veita öruggan og jafnan stuðning fyrir obláta meðan á útfellingu stendur, sem bætir samkvæmni og gæði útfellingarferlisins. Með framúrskarandi hitaþol, hjálpar grafítbakkinn við að viðhalda stýrðu umhverfi inni í PECVD hólfum, dregur úr hættu á mengun og tryggir mikla vinnsluskilvirkni.

Sendu tölvupóst til okkar Sækja sem PDF

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

VET Energy PECVD hleðslubakki er nákvæmni burðarefni hannaður fyrir PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) ferli. Þessi hágæða grafítbakki er gerður úr háhreinu grafítefni með miklum þéttleika. Það hefur framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika. Það getur veitt stöðugan burðarvettvang fyrir PECVD ferli og tryggt einsleitni og flatneskju filmuútfellingar.

VET Energy PECVD hleðslubakkar eru mikið notaðir í hálfleiðurum, ljósvökva, LED og öðrum sviðum. Til dæmis:

▪ Hálfleiðari: PECVD ferli fyrir hálfleiðara efni eins og kísilskífur og epitaxial skífur.

▪ Ljósvökvi: PECVD ferli fyrir þunna filmu sólarsellu.

▪ LED: PECVD ferli fyrir LED flís.

Kostir vöru

▪Bættu kvikmyndagæði:Tryggja samræmda filmuútfellingu og bæta kvikmyndagæði.

▪Lengja líftíma búnaðar:Framúrskarandi tæringarþol, lengja endingartíma PECVD búnaðar.

▪Draga úr framleiðslukostnaði:Hágæða grafítbakkar geta dregið úr ruslhraða og dregið úr framleiðslukostnaði.

Grafít efni frá SGL:

Dæmigert færibreyta: R6510
Vísitala	Próf staðall	Gildi	Eining
Meðalkornstærð	ISO 13320	10	μm
Magnþéttleiki	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opinn porosity	DIN66133	10	%
Meðalstærð svitahola	DIN66133	1.8	μm
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstakt rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þrýstistyrkur	DIN 51910	130	MPa
Stuðull Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hitastækkun (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir afkastamikla sólarselluframleiðslu, sem styður G12 stórar skífuvinnslu. Bjartsýni burðarhönnun eykur afköst umtalsvert, sem gerir hærra afraksturshlutfall og lægri framleiðslukostnað kleift.

Atriði	Tegund	Númerablátuberi
PEVCD Grephite bátur - 156 röðin	156-13 griphitabátur	144
	156-19 griphitabátur	216
	156-21 griphitabátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 röðin	125-15 grepítabátur	196
	125-19 griphitabátur	252
	125-21 grófít bátur	280