Graphite Substrate Wafer Holder fyrir PECVD

Stutt lýsing:

VET Energy's Graphite Substrate Holder er hannaður til að viðhalda jöfnun og stöðugleika obláta í gegnum PECVD ferlið, koma í veg fyrir mengun og lágmarka hættu á skemmdum. Grafítskúffuhaldarinn veitir öruggan, jafnan vettvang, sem tryggir að obláturnar séu jafnt útsettar fyrir plasma fyrir stöðuga og hágæða útfellingu. Með mikilli varmaleiðni og óvenjulegum styrk, hjálpar þessi handhafi að bæta heildar vinnslu skilvirkni og afköst vörunnar.

Sendu tölvupóst til okkar Sækja sem PDF

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder er nákvæmni burðarefni hannaður fyrir PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ferli. Þessi hágæða grafít undirlagshaldari er gerður úr háhreinu grafítefni með miklum þéttleika, með framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika. Það getur veitt stöðugan stuðning vettvang fyrir PECVD ferli og tryggt einsleitni og flatneskju á filmuútfellingu.

VET Energy PECVD ferli grafít obláta stuðningsborð hefur eftirfarandi eiginleika:

▪Hár hreinleiki:afar lágt óhreinindi, forðast mengun á filmu, tryggðu kvikmyndagæði.

▪Hár þéttleiki:hár þéttleiki, hár vélrænni styrkur, þolir háan hita og háþrýsting PECVD umhverfi.

▪Góður víddarstöðugleiki:lítil víddarbreyting við háan hita, sem tryggir stöðugleika ferlisins.

▪Frábær hitaleiðni:flytja hita á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á disknum.

▪Sterk tæringarþol:getur staðist veðrun af ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.

▪Sérsniðin þjónusta:grafít stuðningsborð af mismunandi stærðum og gerðum er hægt að aðlaga í samræmi við þarfir viðskiptavina.

Kostir vöru

▪Bættu kvikmyndagæði:Tryggja samræmda filmuútfellingu og bæta kvikmyndagæði.

▪Lengja líftíma búnaðar:Framúrskarandi tæringarþol, lengja endingartíma PECVD búnaðar.

▪Draga úr framleiðslukostnaði:Hágæða grafítbakkar geta dregið úr ruslhraða og dregið úr framleiðslukostnaði.

Grafít efni frá SGL:

Dæmigert færibreyta: R6510
Vísitala	Próf staðall	Gildi	Eining
Meðalkornstærð	ISO 13320	10	μm
Magnþéttleiki	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opinn porosity	DIN66133	10	%
Meðalstærð svitahola	DIN66133	1.8	μm
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstakt rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þrýstistyrkur	DIN 51910	130	MPa
Stuðull Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hitastækkun (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir afkastamikla sólarselluframleiðslu, sem styður G12 stórar skífuvinnslu. Bjartsýni burðarhönnun eykur afköst umtalsvert, sem gerir hærra afraksturshlutfall og lægri framleiðslukostnað kleift.

Atriði	Tegund	Númerablátuberi
PEVCD Grephite bátur - 156 röðin	156-13 griphitabátur	144
	156-19 griphitabátur	216
	156-21 griphitabátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 röðin	125-15 grepítabátur	196
	125-19 griphitabátur	252
	125-21 grófít bátur	280