PECVD grafítskúffustuðningur

PECVD Graphite Wafer Stuðningur Valin mynd

Stutt lýsing:

Hannaður fyrir nákvæmni og frammistöðu, VET Energy's Graphite Wafer Support er tilvalið efni til notkunar í háþróaðri oblátuvinnslu, þar sem mikill varmastöðugleiki og stöðug frammistaða eru mikilvæg. Hvort sem þú ert að vinna með hálfleiðara oblátur eða önnur viðkvæm undirlag, mun þessi hágæða grafítstuðningur auka áreiðanleika þinn og vörugæði, sem gerir það að ómissandi íhlut fyrir nútíma framleiðslu.

Sendu tölvupóst til okkar Sækja sem PDF

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

VET Energy PECVD aðferð grafít obláta stuðningur er kjarna neysluefni hannað fyrir PECVD (plasma aukið efna gufuútfellingu) ferli. Þessi vara er úr háhreinu grafítefni með háum þéttleika, með framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og öðrum eiginleikum, getur veitt stöðugan stuðning vettvang fyrir PECVD ferli, til að tryggja einsleitni og flatneskju filmuútfellingar.

"Grafítstuðningur" hönnun VET Energy grafítskúffustuðnings getur ekki aðeins stutt við diskinn á áhrifaríkan hátt heldur einnig veitt hitastöðugleika í háhita og háþrýstingi PECVD umhverfi til að tryggja stöðugleika ferlisins.

VET Energy PECVD ferli grafítskúffustuðnings hefur eftirfarandi eiginleika:

▪Hár hreinleiki:afar lágt óhreinindi, forðast mengun kvikmyndarinnar, til að tryggja gæði filmunnar.

▪Hár þéttleiki:hár þéttleiki, hár vélrænni styrkur, þolir háan hita og háþrýsting PECVD umhverfi.

▪Góður víddarstöðugleiki:litlar víddarbreytingar við háan hita til að tryggja stöðugleika ferlisins.

▪Frábær hitaleiðni:flytja hita á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á disknum.

▪Sterk tæringarþol:Getur staðist rof af ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.

▪Sérsniðin þjónusta:Grafít stuðningsborð af mismunandi stærðum og gerðum er hægt að aðlaga í samræmi við þarfir viðskiptavina.

Grafít efni frá SGL:

Dæmigert færibreyta: R6510
Vísitala	Próf staðall	Gildi	Eining
Meðalkornstærð	ISO 13320	10	μm
Magnþéttleiki	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opinn porosity	DIN66133	10	%
Meðalstærð svitahola	DIN66133	1.8	μm
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstakt rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þrýstistyrkur	DIN 51910	130	MPa
Stuðull Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Hitastækkun (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir afkastamikla sólarselluframleiðslu, sem styður G12 stórar skífuvinnslu. Bjartsýni burðarhönnun eykur afköst umtalsvert, sem gerir hærra afraksturshlutfall og lægri framleiðslukostnað kleift.

Atriði	Tegund	Númerablátuberi
PEVCD Grephite bátur - 156 röðin	156-13 griphitabátur	144
	156-19 griphitabátur	216
	156-21 griphitabátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 röðin	125-15 grepítabátur	196
	125-19 griphitabátur	252
	125-21 grófít bátur	280