VET Energy grafítskúffubátur er hágæða rekstrarvara sem er sérsniðin fyrir útfellingarferli í hálfleiðurum, ljósvökva og öðrum iðnaði. Þessi vara, sem er gerð úr háhreinu, háþéttu grafítefni, hefur framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika og getur veitt stöðugan burðarvettvang fyrir útfellingarferlið til að tryggja einsleitni og flatleika þunnfilmuútfellingar. .
PECVD grafítbáturinn frá VET Energy er framleiddur með háhreinleika ísóstatísku grafíti, með gropleika undir 15% og yfirborðsgrófleiki Ra≤1,6μm. Yfirburða víddarstöðugleiki og hitaleiðni tryggja samræmda filmuútfellingu og aukna skilvirkni frumna.
Grafít efni frá SGL:
| Dæmigert færibreyta: R6510 | |||
| Vísitala | Próf staðall | Gildi | Eining |
| Meðalkornstærð | ISO 13320 | 10 | μm |
| Magnþéttleiki | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Opinn porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Meðalstærð svitahola | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Gegndræpi | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hörku HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Sérstakt rafviðnám | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Beygjustyrkur | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Þrýstistyrkur | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Stuðull Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Hitastækkun (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Varmaleiðni (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Það er sérstaklega hannað fyrir afkastamikla sólarselluframleiðslu, sem styður G12 stórar skífuvinnslu. Bjartsýni burðarhönnun eykur afköst umtalsvert, sem gerir hærra afraksturshlutfall og lægri framleiðslukostnað kleift.
| Atriði | Tegund | Númerablátuberi |
| PEVCD Grephite bátur - 156 röðin | 156-13 griphitabátur | 144 |
| 156-19 griphitabátur | 216 | |
| 156-21 griphitabátur | 240 | |
| 156-23 grafítbátur | 308 | |
| PEVCD Grephite bátur - 125 röðin | 125-15 grepítabátur | 196 |
| 125-19 griphitabátur | 252 | |
| 125-21 grófít bátur | 280 |
