SiC húðuð hálfmánahluta tromma notuð í SiC epitaxial búnað

Stutt lýsing:

Vörukynning og notkun: Tengd kvarsrör, getur borið gas til að knýja bakkabotn snúning, hitastýringu

Staðsetning tækis vörunnar: í hvarfhólfinu, ekki í beinni snertingu við oblátuna

Helstu eftirstöðvar vörur: rafmagnstæki

Aðal flugstöðvarmarkaður: ný orkutæki

 


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

SiC húðaður grafít hálfmáni hlutiis a lykillíhlutur sem notaður er í hálfleiðara framleiðsluferlum, sérstaklega fyrir SiC epitaxial búnað.Við notum einkaleyfisverndaða tækni okkar til að búa til hálfmánann meðmjög hár hreinleiki,gotthúðuneinsleitniog framúrskarandi endingartíma, sem oghár efnaþol og hitastöðugleikaeiginleikar.

VET Energy er theraunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með CVD húðun,getur útvegaðýmislegtsérsniðnir hlutar fyrir hálfleiðara og ljósvakaiðnað. OTækniteymið þitt kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnirfyrir þig.

Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að veita fullkomnari efni,oghafa þróað einkaleyfisbundna tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.

Feiginleikar vara okkar:

1. Oxunarþol við háan hita allt að 1700.
2. Hár hreinleiki oghitauppstreymi einsleitni
3. Framúrskarandi tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
4. Hár hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
5. Lengri endingartími og endingargóðari

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun

性质 / Eign

典型数值 / Dæmigert gildi

晶体结构 / Kristallsbygging

FCC β fasi多晶,主要为(111)取向

密度 / Þéttleiki

3,21 g/cm³

硬度 / hörku

2500 维氏硬度(500g álag)

晶粒大小 / Kornastærð

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99,99995%

热容 / Hitageta

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Hitastig

2700 ℃

抗弯强度 / Beygjustyrkur

415 MPa RT 4 punkta

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃

导热系数 / ThermalLeiðni

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Hitastækkun (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Fyrri:
  • Næst:

  • WhatsApp netspjall!