VET OrkaPECVD ferli grafít burðarefni er hágæða neysluvara sem er sérsniðin fyrir PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) ferli. Þessi grafítberi er gerður úr háhreinu grafítefni með háum þéttleika, með framúrskarandi háhitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika, getur veitt stöðugan burðarvettvang fyrir PECVD ferli, til að tryggja einsleitni og flatleika þunnrar filmu. útfelling.
Grafítberar fyrir PECVD ferli hafa eftirfarandi eiginleika:
▪ Mikill hreinleiki: afar lítið óhreinindi, forðast mengun á filmunni og tryggir kvikmyndagæði.
▪ Hár þéttleiki: hár þéttleiki, hár vélrænni styrkur, þolir háan hita og háþrýsting PECVD umhverfi.
▪ Góður víddarstöðugleiki: lítil víddarbreyting við háan hita, sem tryggir ferlistöðugleika.
▪ Framúrskarandi hitaleiðni: flytur hita á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á flísum.
▪ Sterk tæringarþol: þolir veðrun frá ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.
▪ Sérsniðin þjónusta: Hægt er að aðlaga grafítbera af mismunandi stærðum og gerðum eftir þörfum viðskiptavina.
Grafít efni frá SGL:
Dæmigert færibreyta: R6510 | |||
Vísitala | Próf staðall | Gildi | Eining |
Meðalkornstærð | ISO 13320 | 10 | μm |
Magnþéttleiki | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Opinn porosity | DIN66133 | 10 | % |
Meðalstærð svitahola | DIN66133 | 1.8 | μm |
Gegndræpi | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwell hörku HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Sérstakt rafviðnám | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Beygjustyrkur | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Þrýstistyrkur | DIN 51910 | 130 | MPa |
Stuðull Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Hitastækkun (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Varmaleiðni (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Það er sérstaklega hannað fyrir afkastamikla sólarselluframleiðslu, sem styður G12 stórar skífuvinnslu. Bjartsýni burðarhönnun eykur afköst umtalsvert, sem gerir hærra afraksturshlutfall og lægri framleiðslukostnað kleift.
Atriði | Tegund | Númerablátuberi |
PEVCD Grephite bátur - 156 röðin | 156-13 griphitabátur | 144 |
156-19 griphitabátur | 216 | |
156-21 griphitabátur | 240 | |
156-23 grafítbátur | 308 | |
PEVCD Grephite bátur - 125 röðin | 125-15 grepítabátur | 196 |
125-19 griphitabátur | 252 | |
125-21 grófít bátur | 280 |