Þessi 6 tommu N Type SiC Wafer er hönnuð til að auka afköst við erfiðar aðstæður, sem gerir það að kjörnum vali fyrir forrit sem krefjast mikils afl- og hitaþols. Lykilvörur sem tengjast þessari oblátu eru Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer og SiN Substrate. Þessi efni tryggja hámarksafköst í margs konar framleiðsluferli hálfleiðara, sem gerir tæki sem eru bæði orkusparandi og endingargóð.
Fyrir fyrirtæki sem vinna með Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, Cassette eða AlN Wafer, veitir 6 tommu N Type SiC Wafer VET Energy nauðsynlegan grunn fyrir nýstárlega vöruþróun. Hvort sem það er í rafeindatækni með miklum krafti eða það nýjasta í RF tækni, tryggja þessar oblátur framúrskarandi leiðni og lágmarks hitauppstreymi, sem þrýstir á mörk skilvirkni og frammistöðu.
LEIÐBEININGAR VÖFLU
*n-Pm=n-gerð Pm-Grade,n-Ps=n-gerð Ps-Grade,Sl=Hálfeinangrandi
Atriði | 8 tommu | 6 tommu | 4-tommu | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Algert gildi | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
FLUTNINGUR
*n-Pm=n-gerð Pm-Grade,n-Ps=n-gerð Ps-Grade,Sl=Hálfeinangrandi
Atriði | 8 tommu | 6 tommu | 4-tommu | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Yfirborðsfrágangur | Tvíhliða Optical Polish, Si- Face CMP | ||||
Yfirborðsgrófleiki | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Ekkert leyfilegt (lengd og breidd ≥0,5 mm) | ||||
Inndráttur | Ekkert leyfilegt | ||||
Rispur (Si-Face) | Magn.≤5, Uppsafnað | Magn.≤5, Uppsafnað | Magn.≤5, Uppsafnað | ||
Sprungur | Ekkert leyfilegt | ||||
Edge útilokun | 3 mm |