4 tommu GaN á SiC Wafer

Stutt lýsing:

4-tommu GaN á SiC obláta VET Energy er byltingarkennd vara á sviði rafeindatækni. Þessi skífa sameinar frábæra hitaleiðni kísilkarbíðs (SiC) með miklum aflþéttleika og litlu tapi á gallíumnítríði (GaN), sem gerir það að kjörnum valkostum til að búa til hátíðni og aflmikil tæki. VET Energy tryggir framúrskarandi frammistöðu og samkvæmni oblátunnar með háþróaðri MOCVD epitaxial tækni.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Vörulína VET Energy er ekki takmörkuð við GaN á SiC oblátum. Við bjóðum einnig upp á breitt úrval af hálfleiðara undirlagsefnum, þar á meðal Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, osfrv. Að auki erum við einnig virkir að þróa ný breitt bandgap hálfleiðara efni, svo sem Gallium Oxide Ga2O3 og AlN Wafer, til að mæta eftirspurn framtíðar rafeindatækniiðnaðarins eftir afkastameiri tækjum.

VET Energy veitir sveigjanlega aðlögunarþjónustu og getur sérsniðið GaN epitaxial lög af mismunandi þykktum, mismunandi tegundum lyfjagjafar og mismunandi oblátustærðir í samræmi við sérstakar þarfir viðskiptavina. Að auki bjóðum við einnig upp á faglega tækniaðstoð og þjónustu eftir sölu til að hjálpa viðskiptavinum að þróa afkastamikil rafeindatæki fljótt.

第6页-36
第6页-35

LEIÐBEININGAR VÖFLU

*n-Pm=n-gerð Pm-Grade,n-Ps=n-gerð Ps-Grade,Sl=Hálfeinangrandi

Atriði

8 tommu

6 tommu

4-tommu

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Bow(GF3YFCD)-Algert gildi

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Wafer Edge

Beveling

FLUTNINGUR

*n-Pm=n-gerð Pm-Grade,n-Ps=n-gerð Ps-Grade,Sl=Hálfeinangrandi

Atriði

8 tommu

6 tommu

4-tommu

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

Yfirborðsfrágangur

Tvíhliða Optical Polish, Si- Face CMP

Yfirborðsgrófleiki

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra≤0,5nm

Edge Chips

Ekkert leyfilegt (lengd og breidd ≥0,5 mm)

Inndráttur

Ekkert leyfilegt

Rispur (Si-Face)

Magn.≤5, Uppsafnað
Lengd ≤0,5× þvermál skífunnar

Magn.≤5, Uppsafnað
Lengd ≤0,5× þvermál skífunnar

Magn.≤5, Uppsafnað
Lengd ≤0,5× þvermál skífunnar

Sprungur

Ekkert leyfilegt

Edge útilokun

3 mm

tækni_1_2_stærð
下载 (2)

  • Fyrri:
  • Næst:

  • WhatsApp netspjall!