Pelat dan Penutup Baki Grafit Lapisan Silikon Karbida

Pelat Baki Grafit Lapisan Silikon Karbida dan Penutup Gambar Unggulan

Deskripsi Singkat:

Pelat dan penutup grafit pelapis silikon karbida VET Energy adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu lama. Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Energi VETBaki Grafit Lapisan Silikon Karbida, Pelat, dan Penutup dirancang untuk memberikan kinerja tingkat atas, memberikan pengoperasian yang andal dan konsisten dalam penggunaan jangka panjang, menjadikannya pilihan penting untuk aplikasi pemrosesan wafer di industri semikonduktor. Performa tinggi iniPelat Grafit Lapisan Silikon Karbidamenawarkan ketahanan panas yang luar biasa, keseragaman termal yang unggul, dan stabilitas kimia yang luar biasa, terutama dalam kondisi suhu tinggi. Konstruksinya dengan kemurnian tinggi, ditambah dengan ketahanan terhadap erosi tingkat lanjut, menjadikannya sangat diperlukan untuk lingkungan yang menuntut sepertiPenerima MOCVD.

Fitur Utama Baki, Pelat, dan Penutup Grafit Lapisan Silikon Karbida

1. Ketahanan Oksidasi Suhu Tinggi:Tahan suhu hingga 1700℃, memungkinkannya bekerja dengan andal dalam kondisi ekstrem.

2. Kemurnian Tinggi dan Keseragaman Termal:Kemurnian tinggi yang konsisten dan distribusi panas yang merata sangat penting untuk aplikasi MOCVD.

3. Ketahanan Korosi yang Luar Biasa:Tahan terhadap asam, basa, garam, dan berbagai reagen organik, memastikan stabilitas jangka panjang di beragam lingkungan.

4. Kekerasan Tinggi dan Permukaan Kompak:Menampilkan permukaan padat dengan partikel halus, meningkatkan daya tahan dan ketahanan terhadap keausan secara keseluruhan.

5. Umur Layanan yang Diperpanjang:Direkayasa untuk umur panjang, mengungguli konvensionalsuseptor grafit berlapis silikon karbidadi lingkungan pemrosesan semikonduktor yang keras.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase FCC β多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran Butir	2~10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalakuDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Keahlian VET Energy dalam Solusi Grafit dan Silikon Karbida yang Disesuaikan

Sebagai produsen tepercaya, VET Energy berspesialisasi dalam suseptor grafit yang dirancang khusus dan solusi pelapisan silikon karbida. Kami menawarkan serangkaian produk yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, termasukKomponen grafit berlapis SiCseperti nampan, piring, dan penutup. Jajaran produk kami juga mencakup beragam pilihan pelapisan, sepertiLapisan SiC untuk MOCVD, lapisan TaC, lapisan karbon seperti kaca, dan lapisan karbon pirolitik, memastikan kami memenuhi berbagai permintaan industri teknologi tinggi.

Tim teknis kami yang berpengalaman, terdiri dari para ahli dari lembaga penelitian terkemuka dalam negeri, memberikan solusi material yang komprehensif untuk klien. Kami terus menyempurnakan proses canggih kami, termasuk teknologi eksklusif yang dipatenkan yang meningkatkan ikatan antara lapisan silikon karbida dan substrat grafit, mengurangi risiko terlepasnya dan semakin memperpanjang masa pakai produk.

Aplikasi dan Manfaat dalam Manufaktur Semikonduktor

ItuLapisan Silikon Karbida untuk MOCVDmembuat kerentanan grafit ini sangat efektif dalam lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Baik digunakan sebagai pembawa wafer grafit atau komponen MOCVD lainnya, susceptor berlapis silikon karbida ini menunjukkan daya tahan dan kinerja yang unggul. Bagi mereka yang mencari solusi andal dalamSuseptor grafit berlapis SiCpasar, baki, pelat, dan penutup grafit berlapis silikon karbida VET Energy menawarkan opsi yang kuat dan serbaguna yang memenuhi tuntutan ketat industri semikonduktor.

Dengan berfokus pada ilmu material tingkat lanjut, VET Energy berkomitmen untuk menghadirkan solusi grafit berlapis SiC berkinerja tinggi yang mendorong inovasi dalam pemrosesan semikonduktor dan memastikan kinerja yang andal di semua aplikasi terkait MOCVD.

VET Energy adalah produsen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan berbeda seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, dll., dapat memasok berbagai suku cadang khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat menjadi lebih erat dan tidak mudah terkelupas.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!