Susceptor MOCVD Lapisan Silikon Karbida CVD

Deskripsi Singkat:

Susceptor MOCVD Berlapis SiC Energi VET adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu lama.Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Tempat asal:Zhejiang, Tiongkok (Daratan)

Nomor model:Perahu3002

Komposisi kimia:Grafit berlapis SiC

Resistivitas Listrik:11 μΩm

Kekerasan Pantai: 58

Konduktivitas termal:116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

Sampel:Tersedia

Kode HS:6903100000

Nama merk:DOKTER HEWAN

Kepadatan:1,85 gram/cm3

Kekuatan Lentur:49 MPa

Abu: <5ppm

Kualitas:Sempurna

Aplikasi:Semikonduktor / Fotovoltaik

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Rincian produk

Label Produk

Susceptor grafit berlapis SiC adalah komponen kunci yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, kami menggunakan teknologi yang kami patenkan untuk membuat susceptor dengan kemurnian sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia yang tinggi dan sifat stabilitas termal.

Fitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700 ℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan kompak, partikel halus.
5. Umur pemakaian lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai khas
晶体结构 / Struktur kristal	Fase FCC β多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran butir	2~10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Muda	tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalakuDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy adalah produsen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan berbeda seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, dll., dapat memasok berbagai suku cadang khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat menjadi lebih erat dan tidak mudah terkelupas.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!