SiC էպիտաքսիալ նյութերի աճեցման հիմնական տեխնոլոգիան, առաջին հերթին, արատների վերահսկման տեխնոլոգիան է, հատկապես արատների կառավարման տեխնոլոգիայի համար, որը հակված է սարքի խափանման կամ հուսալիության դեգրադացիայի: Էպիում տարածվող սուբստրատի արատների մեխանիզմի ուսումնասիրությունը...
Կարդալ ավելին