Ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենաների ճշգրիտ մասերի համար նախընտրելի նյութը Կիսահաղորդչային ոլորտում սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական նյութերը հիմնականում օգտագործվում են ինտեգրալ սխեմաների արտադրության հիմնական սարքավորումներում, ինչպիսիք են սիլիցիումի կարբիդի աշխատասեղանը, ուղեցույցի ռելսերը, ռեֆլեկտորները, կերամիկական ներծծող ճարմանդը, թեւերը,...
Կարդալ ավելին