Ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենաների ճշգրիտ մասերի համար նախընտրելի նյութը Կիսահաղորդչային ոլորտում սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական նյութերը հիմնականում օգտագործվում են ինտեգրալ շղթայի արտադրության հիմնական սարքավորումներում, ինչպիսիք են սիլիցիումի կարբիդային աշխատասեղանը, ուղեցույցների ռելսերը, ռեֆլեկտորները, կերամիկական ներծծող ճարմանդը, թեւերը,...
Կարդալ ավելին