Մեկ բյուրեղյա վառարանը սարք է, որն օգտագործում է ագրաֆիտի ջեռուցիչբազմաբյուրեղ սիլիցիումի նյութերը հալեցնում է իներտ գազի (արգոն) միջավայրում և օգտագործում է Չոխրալսկու մեթոդը՝ չտեղահանված միաբյուրեղներ աճեցնելու համար: Այն հիմնականում բաղկացած է հետևյալ համակարգերից.
Մեխանիկական փոխանցման համակարգ
Մեխանիկական փոխանցման համակարգը մեկ բյուրեղյա վառարանի հիմնական գործառնական համակարգն է, որը հիմնականում պատասխանատու է բյուրեղների և բյուրեղների շարժը վերահսկելու համար:կարասներներառյալ սերմերի բյուրեղների բարձրացումը և պտույտը,կարասներ. Այն կարող է ճշգրտորեն կարգավորել այնպիսի պարամետրեր, ինչպիսիք են բյուրեղների և խառնարանների դիրքը, արագությունը և պտտման անկյունը՝ ապահովելու բյուրեղների աճի գործընթացի սահուն առաջընթացը: Օրինակ, բյուրեղների աճի տարբեր փուլերում, ինչպիսիք են սերմնացանը, պարանոցը, ուսադիրը, հավասար տրամագծով աճը և պոչամբարը, սերմերի բյուրեղների և կարասների շարժումը պետք է ճշգրիտ վերահսկվի այս համակարգի կողմից՝ բյուրեղների աճի գործընթացի պահանջները բավարարելու համար:
Ջեռուցման ջերմաստիճանի վերահսկման համակարգ
Սա մեկ բյուրեղյա վառարանի հիմնական համակարգերից մեկն է, որն օգտագործվում է ջերմություն առաջացնելու և վառարանում ջերմաստիճանը ճշգրիտ վերահսկելու համար: Այն հիմնականում բաղկացած է այնպիսի բաղադրիչներից, ինչպիսիք են ջեռուցիչները, ջերմաստիճանի տվիչները և ջերմաստիճանի կարգավորիչները: Ջեռուցիչը սովորաբար պատրաստված է այնպիսի նյութերից, ինչպիսիք են բարձր մաքրության գրաֆիտը: Այն բանից հետո, երբ փոփոխական հոսանքը փոխակերպվում և նվազեցվում է հոսանքը մեծացնելու համար, ջեռուցիչը ջերմություն է առաջացնում՝ հալեցնելու համար բազմաբյուրեղ նյութերը, ինչպիսիք են պոլիսիլիկոնը խառնարանում: Ջերմաստիճանի տվիչը իրական ժամանակում վերահսկում է վառարանում ջերմաստիճանի փոփոխությունները և ջերմաստիճանի ազդանշանը փոխանցում է ջերմաստիճանի կարգավորիչին: Ջերմաստիճանի կարգավորիչը ճշգրտորեն վերահսկում է ջեռուցման հզորությունը՝ ըստ սահմանված ջերմաստիճանի պարամետրերի և հետադարձ ջերմաստիճանի ազդանշանի, դրանով իսկ պահպանելով ջերմաստիճանի կայունությունը վառարանում և ապահովելով համապատասխան ջերմաստիճանային միջավայր բյուրեղների աճի համար:
Վակուումային համակարգ
Վակուումային համակարգի հիմնական գործառույթը բյուրեղների աճի գործընթացում վառարանում վակուումային միջավայրի ստեղծումն ու պահպանումն է: Վառարանում օդը և աղտոտված գազերը արդյունահանվում են վակուումային պոմպերի և այլ սարքավորումների միջոցով, որպեսզի վառարանում գազի ճնշումը հասնի ծայրահեղ ցածր մակարդակի՝ ընդհանուր առմամբ 5TOR (torr) ցածր մակարդակի: Սա կարող է կանխել սիլիցիումի նյութի օքսիդացումը բարձր ջերմաստիճաններում և ապահովել բյուրեղների աճի մաքրությունն ու որակը: Միևնույն ժամանակ, վակուումային միջավայրը նաև նպաստում է բյուրեղների աճի գործընթացում առաջացած ցնդող կեղտերը հեռացնելու և բյուրեղի որակը բարելավելու համար:
Արգոն համակարգ
Արգոն համակարգը դեր է խաղում մեկ բյուրեղյա վառարանում վառարանում ճնշումը պաշտպանելու և կարգավորելու գործում: Փոշեկուլից հետո բարձր մաքրության արգոն գազը (մաքրությունը պետք է լինի 6 9-ից բարձր) լցվում է վառարան: Մի կողմից, այն կարող է կանխել արտաքին օդի մուտքը վառարան և կանխել սիլիցիումի նյութերի օքսիդացումը. Մյուս կողմից, արգոն գազի լցումը կարող է կայուն պահել ճնշումը վառարանում և ապահովել համապատասխան ճնշման միջավայր բյուրեղների աճի համար: Բացի այդ, արգոն գազի հոսքը կարող է նաև խլել բյուրեղների աճի գործընթացում առաջացած ջերմությունը՝ խաղալով որոշակի սառեցնող դեր:
Ջրի հովացման համակարգ
Ջրային հովացման համակարգի գործառույթն է սառեցնել մեկ բյուրեղյա վառարանի տարբեր բարձր ջերմաստիճանի բաղադրիչները՝ ապահովելու սարքավորումների բնականոն աշխատանքը և ծառայության ժամկետը: Մեկ բյուրեղյա վառարանի շահագործման ընթացքում ջեռուցիչը,կարաս, էլեկտրոդը և այլ բաղադրիչները մեծ ջերմություն կառաջացնեն: Եթե դրանք ժամանակին չհովացվեն, սարքավորումները գերտաքանան, կդեֆորմացվեն կամ նույնիսկ կվնասվեն: Ջրի հովացման համակարգը հեռացնում է այս բաղադրիչների ջերմությունը՝ շրջանառելով սառեցնող ջուրը՝ սարքավորման ջերմաստիճանը անվտանգ միջակայքում պահելու համար: Միևնույն ժամանակ, ջրի հովացման համակարգը կարող է նաև օգնել վառարանում ջերմաստիճանը կարգավորելու համար՝ բարելավելու ջերմաստիճանի վերահսկման ճշգրտությունը:
Էլեկտրական կառավարման համակարգ
Էլեկտրական կառավարման համակարգը մեկ բյուրեղյա վառարանի «ուղեղն» է, որը պատասխանատու է ամբողջ սարքավորման աշխատանքը վերահսկելու և վերահսկելու համար: Այն կարող է ազդանշաններ ստանալ տարբեր սենսորներից, ինչպիսիք են ջերմաստիճանի տվիչները, ճնշման սենսորները, դիրքի սենսորները և այլն, և համակարգում և վերահսկում է մեխանիկական փոխանցման համակարգը, ջեռուցման ջերմաստիճանի կառավարման համակարգը, վակուումային համակարգը, արգոնային համակարգը և ջրի հովացման համակարգը այս ազդանշանների հիման վրա: Օրինակ, բյուրեղների աճի գործընթացում էլեկտրական կառավարման համակարգը կարող է ավտոմատ կերպով կարգավորել ջեռուցման հզորությունը՝ ըստ ջերմաստիճանի ազդանշանի, որը ետ է տալիս ջերմաստիճանի սենսորը. ըստ բյուրեղի աճի, այն կարող է վերահսկել սերմերի բյուրեղի և խառնարանի շարժման արագությունը և պտտման անկյունը: Միևնույն ժամանակ, էլեկտրական կառավարման համակարգն ունի նաև անսարքությունների ախտորոշման և ահազանգման գործառույթներ, որոնք կարող են ժամանակին հայտնաբերել սարքավորումների աննորմալ պայմանները և ապահովել սարքավորումների անվտանգ շահագործումը:
Հրապարակման ժամանակը՝ 23-2024թ