Տակառային ընկալիչ հեղուկ փուլային էպիտաքսիայի LPE-ի համար
EPI (էպիտաքսիա)առաջադեմ կիսահաղորդիչների արտադրության կարևոր գործընթաց է: Այն ներառում է նյութի բարակ շերտերի նստեցում ենթաշերտի վրա՝ սարքի բարդ կառուցվածքներ ստեղծելու համար: EPI-ի համար SiC ծածկված գրաֆիտային տակառի ընկալիչները սովորաբար օգտագործվում են որպես ընկալիչներ EPI ռեակտորներում՝ շնորհիվ իրենց գերազանց ջերմային հաղորդունակության և բարձր ջերմաստիճանների դիմադրության: ՀետCVD-SiC ծածկույթ, այն դառնում է ավելի դիմացկուն աղտոտվածության, էրոզիայի և ջերմային ցնցումների նկատմամբ։ Սա հանգեցնում է ընկալիչի երկարակեցության և ֆիլմի որակի բարելավմանը:
Մեր տակառի ընկալիչի առավելությունները հեղուկ փուլային էպիտաքսիայի LPE-ի համար.
Նվազեցված աղտոտվածություն.SiC-ի իներտ բնույթը թույլ չի տալիս կեղտերը կպչել ընկալիչի մակերեսին՝ նվազեցնելով նստած թաղանթների աղտոտման վտանգը:
Էրոզիայի դիմադրության բարձրացում.SiC-ը զգալիորեն ավելի դիմացկուն է էրոզիայի նկատմամբ, քան սովորական գրաֆիտը, ինչը հանգեցնում է ընկալիչի երկարակեցության:
Բարելավված ջերմային կայունություն.SiC-ն ունի գերազանց ջերմահաղորդություն և կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճաններին՝ առանց էական աղավաղումների:
Ֆիլմի բարելավված որակ.Բարելավված ջերմային կայունությունը և աղտոտվածության նվազումը հանգեցնում են ավելի բարձր որակի նստեցված թաղանթների՝ բարելավված միատեսակության և հաստության հսկողության հետ:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd-ն բարձր տեխնոլոգիական ձեռնարկություն է, որը կենտրոնանում է բարձրակարգ առաջադեմ նյութերի, նյութերի և տեխնոլոգիաների արտադրության և վաճառքի վրա, ներառյալ գրաֆիտը, սիլիցիումի կարբիդը, կերամիկա, մակերեսային մշակում, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակե ածխածինը: ծածկույթ, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթ և այլն, այս արտադրանքը լայնորեն օգտագործվում է ֆոտոգալվանային, կիսահաղորդչային, նոր էներգիայի, մետաղագործության և այլնի մեջ:
Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար գիտահետազոտական հաստատություններից և մշակել է բազմաթիվ արտոնագրված տեխնոլոգիաներ՝ արտադրանքի արդյունավետությունն ու որակն ապահովելու համար, կարող է նաև հաճախորդներին տրամադրել պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ:
Մենք ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր լաբորատորիա և գործարան՝ տեխնիկական քննարկման և համագործակցության համար:
