a félvezető lapka szennyeződésének és tisztítási eljárásának megértése

Amikor a spermaüzleti hírek, a félvezetőgyártás bonyolultságának megértése elengedhetetlen. A félvezető lapkák döntő fontosságúak ebben az iparágban, de gyakran szembesülnek különféle szennyeződésekkel. Ezek a szennyeződések, beleértve az atomot, a szerves anyagokat, a fémelem-ionokat és az oxidot, befolyásolhatják a gyártási eljárást.

Részecskékmint például a polimer és a maratási szennyeződések rábízása az intermolekuláris erőre, hogy adszorbeáljanak az ostya felületén, befolyásolják az eszköz fotolitográfiáját.szerves szennyeződésekmint a homo skin olaj és a gépi olaj filmet képeznek az ostyán, akadályozzák a tisztítást.fémelem ionoka vashoz és az alumíniumhoz hasonlóan gyakran eltávolíthatók fémelem-ionkomplexek képződésével.Oxidokakadályozzák a gyártási folyamatot, és általában híg hidrogén-fluoridban való áztatással távolítják el.

kémiai módszerekgyakran használják félvezető lapkák tisztítására és rántására. a nedvesség kémiai tisztítási technikái, mint például az oldatos merítés és a mechanikus dörzsölés uralkodnak. A szuperszonikus és megasonic tisztítási módszer hatékony módszereket kínál a szennyeződések eltávolítására. száraz vegyi tisztítás, beleértve a plazma- és gázfázisú technológiát, szintén szerepet játszanak a félvezető lapkák tisztítási folyamataiban.


Feladás időpontja: 2024.10.29
WhatsApp online csevegés!