Mint fentebb látható, ez egy tipikus
Az első félidő:
Fűtőelem (fűtőtekercs): a kemencecső körül található, általában ellenálláshuzalokból készül, és a kemencecső belsejének fűtésére szolgál.
Kvarccső: A forró oxidációs kemence magja nagy tisztaságú kvarcból készül, amely ellenáll a magas hőmérsékletnek és kémiailag inert marad.
Gázbetáplálás: A kemencecső felső részén vagy oldalán található, oxigén vagy más gázok szállítására szolgál a kemencecső belsejébe.
SS karima: kvarccsöveket és gázvezetékeket összekötő alkatrészek, biztosítva a csatlakozás tömítettségét és stabilitását.
Gáztápvezetékek: Csövek, amelyek összekötik az MFC-t a gázellátó porttal a gázszállításhoz.
MFC (Mass Flow Controller) : Olyan eszköz, amely szabályozza a gáz áramlását egy kvarccsőben a szükséges gázmennyiség pontos szabályozása érdekében.
Szellőzőnyílás: A kipufogógáznak a kemencecső belsejéből a berendezésen kívülre történő szellőztetésére szolgál.
Alsó rész
Szilícium ostyák a tartóban: A szilícium ostyák egy speciális tartóban vannak elhelyezve, hogy egyenletes hőt biztosítsanak az oxidáció során.
Ostyatartó: A szilíciumlapka tartására szolgál, és biztosítja, hogy a szilíciumlapka stabil maradjon a folyamat során.
Talapzat: Szilícium ostyatartót tartó szerkezet, amely általában magas hőmérsékletnek ellenálló anyagból készül.
Lift: Az ostyatartók kvarccsövekbe és onnan történő kiemelésére szolgál a szilícium lapkák automatikus be- és kirakodásához.
Wafer Transfer Robot: a kemencecső eszköz oldalán található, a szilícium ostya automatikus eltávolítására szolgál a dobozból, és a kemencecsőbe helyezi, vagy feldolgozás után távolítsa el.
Kazettatároló karusszel: A kazettatároló karusszel szilíciumlapkákat tartalmazó doboz tárolására szolgál, és elforgatható a robot eléréséhez.
Ostyakazetta: az ostyakazetta a feldolgozandó szilíciumlapkák tárolására és átvitelére szolgál.
Feladás időpontja: 2024.04.22