Mint fentebb látható, ez egy tipikus
Az első félidő:
▪ Fűtőelem (fűtőspirál):
a kemencecső körül található, általában ellenálláshuzalokból készül, és a kemencecső belsejének melegítésére szolgál.
▪ Kvarccső:
A forró oxidációs kemence magja nagy tisztaságú kvarcból készült, amely ellenáll a magas hőmérsékletnek és kémiailag inert marad.
▪ Gáztáp:
A kemencecső felső részén vagy oldalán található, és oxigén vagy más gázok szállítására szolgál a kemencecső belsejébe.
▪ SS karima:
kvarccsöveket és gázvezetékeket összekötő alkatrészek, biztosítva a csatlakozás tömítettségét és stabilitását.
▪ Gáztápvezetékek:
Csövek, amelyek az MFC-t a gázellátó porthoz kötik a gázátvitelhez.
▪ MFC (tömegáram-szabályozó):
Olyan eszköz, amely szabályozza a gáz áramlását a kvarccsőben, hogy pontosan szabályozza a szükséges gázmennyiséget.
▪ Szellőzőnyílás:
A kipufogógáznak a kemencecső belsejéből a berendezésen kívülre történő szellőztetésére szolgál.
Alsó rész:
▪ Szilícium ostyák a tartóban:
A szilícium lapkák egy speciális tartóban vannak elhelyezve, hogy egyenletes hőt biztosítsanak az oxidáció során.
▪ Ostyatartó:
A szilíciumlapka megtartására szolgál, és biztosítja, hogy a szilíciumlapka stabil maradjon a folyamat során.
▪ Talapzat:
Szilícium ostyatartót tartó szerkezet, amely általában magas hőmérsékletnek ellenálló anyagból készül.
▪ Lift:
Az ostyatartók kvarccsövekbe történő emelésére és onnan történő kiemelésére szolgál a szilícium lapkák automatikus be- és kirakodásához.
▪ Wafer Transfer Robot:
a kemencecső eszköz oldalán található, a szilícium ostya automatikus eltávolítására szolgál a dobozból, és a kemencecsőbe helyezi, vagy feldolgozás után távolítja el.
▪ Kazettatároló körhinta:
A kazettás tároló karusszel szilícium ostyákat tartalmazó doboz tárolására szolgál, és elforgatható a robot eléréséhez.
▪ Ostyakazetta:
ostya kazetta a feldolgozandó szilícium lapkák tárolására és átvitelére szolgál.
Feladás időpontja: 2024.04.22