A szilícium-karbid (SiC) egyfajta kerámiaanyag, amely széles felhasználási potenciállal rendelkezik, amely kiváló hővezető képességgel, kémiai stabilitással és magas hőmérséklet-állósággal rendelkezik.A szilícium-karbid teljesítményének és alkalmazási körének további javítása érdekében a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) technológia a szilícium-karbid bevonat elkészítésének fontos módszerévé vált.
A szilícium-karbid CVD bevonat egységes és sűrű védőréteget képezhet különböző hordozókon, és számos kiváló tulajdonsággal rendelkezik.Először is, a szilícium-karbid bevonat rendkívül nagy keménységgel és kopásállósággal rendelkezik, amely hatékonyan ellenáll a kopásnak és a karcolásnak, és megvédi az aljzatot a kopástól és a korróziótól.Másodszor, a szilícium-karbid bevonat kiváló magas hőmérsékleti ellenállással rendelkezik, és magas hőmérsékletű környezetben is magas mechanikai szilárdságot és kémiai stabilitást tud fenntartani.Emiatt a szilícium-karbid CVD bevonat széles körben használatos az űrrepülésben, az energetikában, a kémiai és egyéb területeken, például az égéstér belső falainak bevonatában, a magas hőmérsékletű gázérzékelőkben és a magas hőmérsékletű elektronikus eszközökben.
Ezenkívül a szilícium-karbid bevonat kiváló hővezető képességgel és elektromos szigetelési tulajdonságokkal rendelkezik.A hővezető képesség az anyag hővezető képességére utal, és a szilícium-karbid CVD bevonatok magas hővezető képessége ideálissá teszi azokat hőkezelési alkalmazásokhoz, például radiátorokhoz és hőcsövekhez.Az elektromos szigetelés az anyag áramszigetelési teljesítményére utal, és a szilícium-karbid bevonat jó elektromos szigetelése széles körben alkalmazza elektronikus eszközökben, például nagyfeszültségű szigetelőrétegben és elektronikus csomagolásban.
A szilícium-karbid CVD-bevonatok előállítása során a szokásos prekurzor gázok közé tartoznak a szilíciumforrások és a szénforrások, például a metán és a szilán.Ezek a gázok a CVD-reakció révén vékony szilícium-karbid réteget képeznek a hordozó felületén.A reakciókörülmények, például a hőmérséklet, a légnyomás és a gázáramlás beállításával szabályozható a bevonat vastagsága, morfológiája és tulajdonságai.
Összefoglalva, a szilícium-karbid CVD bevonat számos kiváló tulajdonsággal rendelkezik, beleértve a nagy keménységet, kopásállóságot, magas hőmérséklet-állóságot, hővezető képességet és elektromos szigetelést.Ezeknek a tulajdonságoknak köszönhetően a szilícium-karbid bevonatok széles körben alkalmazhatók számos területen, beleértve a repülést, az energetikát, a vegyi anyagokat és az elektronikát.A CVD-technológia folyamatos fejlesztésével és fejlesztésével a szilícium-karbid bevonat teljesítménye tovább javul, így több területen több alkalmazásra nyílik lehetőség.
Feladás időpontja: 2023. december 18