ʻO ka mea hoʻopaʻa wafer substrate graphite no PECVD

Graphite Substrate Wafer Paʻa no PECVD Kiʻi Hōʻikeʻike

ʻO ka wehewehe pōkole:

Hana ʻia ka VET Energy's Graphite Substrate Holder no ka mālama ʻana i ka alignment wafer a me ka paʻa i loko o ke kaʻina hana PECVD, e pale ana i ka hoʻohaumia ʻana a me ka hōʻemi ʻana i ka pōʻino. Hāʻawi ka Graphite Wafer Holder i kahi kahua paʻa, ʻoi aku ka maikaʻi, e hōʻoiaʻiʻo ana e ʻike pono ʻia nā wafers i ka plasma no ka waiho ʻana a me ke kūlana kiʻekiʻe. Me kona conductivity thermal kiʻekiʻe a me ka ikaika ʻokoʻa, kōkua kēia mea paʻa i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ke kaʻina hana holoʻokoʻa a me ka hana huahana.

E hoʻouna i ka leka uila iā mākou Hoʻoiho ma ke ʻano he PDF

Huahana Huahana

ʻO VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder kahi mea lawe pololei i hoʻolālā ʻia no ka kaʻina PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Hana ʻia kēia mea paʻa kiʻekiʻe ʻo Graphite Substrate Holder me ka maʻemaʻe kiʻekiʻe, kiʻekiʻe kiʻekiʻe kiʻekiʻe graphite mea, me ka maikaʻi kiʻekiʻe kiʻekiʻe kū'ē kū'ē, corrosion kū'ē, dimensional paʻa a me nā mea'ē aʻe. Hiki iā ia ke hāʻawi i kahi kahua kākoʻo paʻa no ka kaʻina PECVD a hōʻoia i ka kūlike a me ka palahalaha o ka waiho ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni.

ʻO ka VET Energy PECVD process graphite wafer support table i kēia mau hiʻohiʻona:

▪Maʻemaʻe kiʻekiʻe:haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa loa, pale i ka contamination o ke kiʻiʻoniʻoni, hōʻoia i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.

▪kiʻekiʻe kiʻekiʻe:kiʻekiʻe kiʻekiʻe, kiʻekiʻe mechanical ikaika, hiki ke kū i ke kiʻekiʻe wela a me ke kiʻekiʻe kiʻekiʻe PECVD kaiapuni.

▪ʻO ke kūlana kūpaʻa maikaʻi:liʻiliʻi liʻiliʻi hoʻololi i ke kiʻekiʻe wela, e hōʻoia i ka paʻa o ka hana.

▪ʻOi aku ka maikaʻi o ka thermal conductivity:hoʻololi maikaʻi i ka wela e pale i ka wela nui ʻana.

▪Ke kū'ē i ka corrosion ikaika:hiki ke pale i ka erosion e nā kinoea kino a me ka plasma.

▪Hana i hana ʻia:Hiki ke hoʻopilikino ʻia nā papa kākoʻo graphite o nā ʻano like ʻole e like me ka makemake o ka mea kūʻai aku.

Nā Pono Huahana

▪E hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni:E hōʻoia i ka waiho ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni like ʻole a hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.

▪Hoʻonui i ke ola o nā mea hana:ʻOi aku ka maikaʻi o ka corrosion, hoʻonui i ke ola lawelawe o nā lako PECVD.

▪E hoemi i na koina hana:Hiki i nā pā graphite kiʻekiʻe ke hoʻemi i ka helu ʻōpala a hoʻemi i nā kumukūʻai hana.

Mea graphite mai SGL:

Kūlana maʻamau: R6510
Papa kuhikuhi	Kūlana hoʻāʻo	Waiwai	Unite
Ka nui o ka palaoa	ISO 13320	10	μm
ʻAno nui	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
ʻO ka porosity wehe	DIN66133	10	%
Ka nui pore waena	DIN66133	1.8	μm
ʻO ke kūpale	DIN 51935	0.06	knm²/s
ʻO ka paʻakikī ʻo Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Kū'ē uila kūikawā	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ka ikaika wiliwili	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ka ikaika compressive	DIN 51910	130	MPa
Ka modulus opio	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Hoʻonui wela (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ʻO ke kau wela wela (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Hoʻolālā ʻia ia no ka hana ʻana o nā cell solar kiʻekiʻe, e kākoʻo ana i ka hana wafer nui G12. Hoʻonui nui ka hoʻolālā ʻana i ka mea lawe ʻoi aku ka maikaʻi, e hiki ai ke kiʻekiʻe aʻe nā kumukūʻai a me nā kumukūʻai hana hoʻohaʻahaʻa.

'ikamu	ʻAno	Helu wafer lawe
ʻO ka moku ʻo PEVCD Grephite - ʻO ka moʻo 156	156-13 waapa grephite	144
	156-19 waapa grephite	216
	156-21 waapa grephite	240
	156-23 waapa graphite	308
ʻO ka moku ʻo PEVCD Grephite - ʻO ka moʻo 125	125-15 waapa grephite	196
	125-19 waʻa grephite	252
	125-21 griphite waapa	280