vet-china ખાતરી કરે છે કે દરેક ટકાઉસિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર હેન્ડલિંગ પેડલઉત્તમ પ્રદર્શન અને ટકાઉપણું ધરાવે છે. આ સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર હેન્ડલિંગ પેડલ તેની માળખાકીય સ્થિરતા અને કાર્યક્ષમતા ઉચ્ચ તાપમાન અને રાસાયણિક કાટ વાતાવરણમાં રહે તેની ખાતરી કરવા માટે અદ્યતન ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓનો ઉપયોગ કરે છે. આ નવીન ડિઝાઇન સેમિકન્ડક્ટર વેફર હેન્ડલિંગ માટે ઉત્તમ સપોર્ટ પ્રદાન કરે છે, ખાસ કરીને ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા સ્વચાલિત કામગીરી માટે.
SiC કેન્ટીલીવર પેડલઓક્સિડેશન ફર્નેસ, ડિફ્યુઝન ફર્નેસ અને એનિલિંગ ફર્નેસ જેવા સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનોમાં વપરાતો વિશિષ્ટ ઘટક છે, મુખ્ય ઉપયોગ વેફર લોડિંગ અને અનલોડિંગ, ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન વેફરને સપોર્ટ અને પરિવહન માટે છે.
સામાન્ય રચનાઓનાSiCcએન્ટિલિવરpએડલ: કેન્ટીલીવર માળખું, એક છેડે નિશ્ચિત અને બીજા ભાગમાં મુક્ત, સામાન્ય રીતે સપાટ અને ચપ્પુ જેવી ડિઝાઇન ધરાવે છે.
કામ કરે છેpસિદ્ધાંતનાSiCcએન્ટિલિવરpએડલ:
કેન્ટીલીવર પેડલ ફર્નેસ ચેમ્બરની અંદર ઉપર અને નીચે અથવા આગળ અને પાછળ ખસી શકે છે, તેનો ઉપયોગ વેફરને લોડિંગ એરિયામાંથી પ્રોસેસિંગ એરિયામાં અથવા પ્રોસેસિંગ એરિયાની બહાર, ઉચ્ચ-તાપમાનની પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને ટેકો આપવા અને સ્થિર કરવા માટે થઈ શકે છે.
| પુનઃસ્થાપિત સિલિકોન કાર્બાઇડના ભૌતિક ગુણધર્મો | |
| મિલકત | લાક્ષણિક મૂલ્ય |
| કાર્યકારી તાપમાન (°C) | 1600°C (ઓક્સિજન સાથે), 1700°C (વાતાવરણ ઘટાડવું) |
| SiC સામગ્રી | > 99.96% |
| મફત Si સામગ્રી | < 0.1% |
| બલ્ક ઘનતા | 2.60-2.70 ગ્રામ/સે.મી3 |
| દેખીતી છિદ્રાળુતા | < 16% |
| કમ્પ્રેશન તાકાત | > 600 MPa |
| કોલ્ડ બેન્ડિંગ તાકાત | 80-90 MPa (20°C) |
| ગરમ બેન્ડિંગ તાકાત | 90-100 MPa (1400°C) |
| થર્મલ વિસ્તરણ @1500°C | 4.70 10-6/°સે |
| થર્મલ વાહકતા @1200°C | 23 W/m•K |
| સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ | 240 GPa |
| થર્મલ આંચકો પ્રતિકાર | અત્યંત સારું |
