સૌ પ્રથમ, આપણે જાણવાની જરૂર છેPECVD(પ્લાઝમા એન્હાન્સ્ડ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન). પ્લાઝ્મા એ ભૌતિક પરમાણુઓની થર્મલ ગતિની તીવ્રતા છે. તેમની વચ્ચેના અથડામણને કારણે ગેસના પરમાણુઓ આયનોઈઝ્ડ બનશે અને સામગ્રી મુક્તપણે ફરતા હકારાત્મક આયનો, ઇલેક્ટ્રોન અને તટસ્થ કણોનું મિશ્રણ બની જશે જે એકબીજા સાથે ક્રિયાપ્રતિક્રિયા કરે છે.
એવો અંદાજ છે કે સિલિકોન સપાટી પર પ્રકાશનું પ્રતિબિંબ નુકશાન દર લગભગ 35% જેટલો ઊંચો છે. પ્રતિબિંબ વિરોધી ફિલ્મ બેટરી સેલ દ્વારા સૌર પ્રકાશના ઉપયોગ દરમાં ઘણો સુધારો કરી શકે છે, જે ફોટોજનરેટેડ વર્તમાન ઘનતાને વધારવામાં મદદ કરે છે અને આમ રૂપાંતરણ કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરે છે. તે જ સમયે, ફિલ્મમાંનો હાઇડ્રોજન બેટરી સેલની સપાટીને નિષ્ક્રિય કરે છે, ઉત્સર્જક જંકશનની સપાટીના પુનઃસંયોજન દરને ઘટાડે છે, શ્યામ પ્રવાહ ઘટાડે છે, ઓપન સર્કિટ વોલ્ટેજમાં વધારો કરે છે અને ફોટોઇલેક્ટ્રિક રૂપાંતરણ કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરે છે. બર્ન-થ્રુ પ્રક્રિયામાં ઉચ્ચ-તાપમાન તાત્કાલિક એનિલિંગ કેટલાક Si-H અને NH બોન્ડને તોડે છે, અને મુક્ત H બેટરીના નિષ્ક્રિયતાને વધુ મજબૂત બનાવે છે.
ફોટોવોલ્ટેઇક-ગ્રેડ સિલિકોન સામગ્રીમાં અનિવાર્યપણે મોટી માત્રામાં અશુદ્ધિઓ અને ખામીઓ હોય છે, તેથી સિલિકોનમાં લઘુમતી વાહક જીવનકાળ અને પ્રસરણ લંબાઈ ઓછી થાય છે, પરિણામે બેટરીની રૂપાંતરણ કાર્યક્ષમતામાં ઘટાડો થાય છે. H સિલિકોનમાં ખામી અથવા અશુદ્ધિઓ સાથે પ્રતિક્રિયા કરી શકે છે, ત્યાં બેન્ડગેપમાં ઊર્જા બેન્ડને વેલેન્સ બેન્ડ અથવા વહન બેન્ડમાં સ્થાનાંતરિત કરે છે.
1. PECVD સિદ્ધાંત
PECVD સિસ્ટમ એ જનરેટરની શ્રેણી છે જેનો ઉપયોગ થાય છેPECVD ગ્રેફાઇટ બોટ અને ઉચ્ચ-આવર્તન પ્લાઝ્મા ઉત્તેજક. પ્લાઝ્મા જનરેટર નીચા દબાણ અને એલિવેટેડ તાપમાન હેઠળ પ્રતિક્રિયા કરવા માટે કોટિંગ પ્લેટની મધ્યમાં સીધું ઇન્સ્ટોલ કરેલું છે. ઉપયોગમાં લેવાતા સક્રિય વાયુઓ સિલેન SiH4 અને એમોનિયા NH3 છે. આ વાયુઓ સિલિકોન વેફર પર સંગ્રહિત સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ પર કાર્ય કરે છે. સિલેન અને એમોનિયાના ગુણોત્તરને બદલીને વિવિધ રીફ્રેક્ટિવ સૂચકાંકો મેળવી શકાય છે. ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા દરમિયાન, હાઇડ્રોજન અણુઓ અને હાઇડ્રોજન આયનોની મોટી માત્રા ઉત્પન્ન થાય છે, જે વેફરના હાઇડ્રોજન પેસિવેશનને ખૂબ જ સારી બનાવે છે. શૂન્યાવકાશ અને 480 ડિગ્રી સેલ્સિયસના આજુબાજુના તાપમાનમાં, સિલિકોન વેફરની સપાટી પર સિક્સએનવાયનું સ્તર કોટેડ કરવામાં આવે છે.PECVD ગ્રેફાઇટ બોટ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 ફિલ્મનો રંગ તેની જાડાઈ સાથે બદલાય છે. સામાન્ય રીતે, આદર્શ જાડાઈ 75 અને 80 nm ની વચ્ચે હોય છે, જે ઘાટો વાદળી દેખાય છે. Si3N4 ફિલ્મનું રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ 2.0 અને 2.5 વચ્ચે શ્રેષ્ઠ છે. આલ્કોહોલનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે તેના રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સને માપવા માટે થાય છે.
સપાટીની ઉત્કૃષ્ટ પેસિવેશન અસર, કાર્યક્ષમ ઓપ્ટિકલ એન્ટિ-રિફ્લેક્શન કામગીરી (જાડાઈ રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ મેચિંગ), નીચા તાપમાનની પ્રક્રિયા (અસરકારક રીતે ખર્ચમાં ઘટાડો), અને પેદા થયેલ H આયન સિલિકોન વેફર સપાટીને નિષ્ક્રિય કરે છે.
3. કોટિંગ વર્કશોપમાં સામાન્ય બાબતો
ફિલ્મ જાડાઈ:
જુદી જુદી ફિલ્મની જાડાઈ માટે જુબાનીનો સમય અલગ છે. કોટિંગના રંગ અનુસાર જમા કરવાનો સમય યોગ્ય રીતે વધારવો અથવા ઘટાડવો જોઈએ. જો ફિલ્મ સફેદ હોય, તો ડિપોઝિશનનો સમય ઘટાડવો જોઈએ. જો તે લાલ રંગનું હોય, તો તેને યોગ્ય રીતે વધારવું જોઈએ. ફિલ્મોની દરેક બોટની સંપૂર્ણ પુષ્ટિ થવી જોઈએ, અને ખામીયુક્ત ઉત્પાદનોને આગળની પ્રક્રિયામાં વહેવાની મંજૂરી નથી. ઉદાહરણ તરીકે, જો કોટિંગ નબળી હોય, જેમ કે રંગના ફોલ્લીઓ અને વોટરમાર્ક, તો સપાટીની સૌથી સામાન્ય સફેદી, રંગમાં તફાવત અને ઉત્પાદન લાઇન પરના સફેદ ફોલ્લીઓને સમયસર પસંદ કરવા જોઈએ. સપાટીની સફેદી મુખ્યત્વે જાડા સિલિકોન નાઈટ્રાઈડ ફિલ્મને કારણે થાય છે, જે ફિલ્મના જમા થવાના સમયને સમાયોજિત કરીને સમાયોજિત કરી શકાય છે; રંગ તફાવત ફિલ્મ મુખ્યત્વે ગેસ પાથ અવરોધ, ક્વાર્ટઝ ટ્યુબ લિકેજ, માઇક્રોવેવ નિષ્ફળતા, વગેરેને કારણે થાય છે; સફેદ ફોલ્લીઓ મુખ્યત્વે અગાઉની પ્રક્રિયામાં નાના કાળા ફોલ્લીઓને કારણે થાય છે. પરાવર્તકતા, રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ, વગેરેનું નિરીક્ષણ, ખાસ વાયુઓની સલામતી વગેરે.
સપાટી પર સફેદ ફોલ્લીઓ:
PECVD એ સૌર કોષોમાં પ્રમાણમાં મહત્વની પ્રક્રિયા છે અને કંપનીના સૌર કોષોની કાર્યક્ષમતાનું મહત્વનું સૂચક છે. PECVD પ્રક્રિયા સામાન્ય રીતે વ્યસ્ત હોય છે, અને કોષોના દરેક બેચને મોનિટર કરવાની જરૂર છે. ત્યાં ઘણી કોટિંગ ફર્નેસ ટ્યુબ છે, અને દરેક ટ્યુબમાં સામાન્ય રીતે સેંકડો કોષો હોય છે (સાધન પર આધાર રાખીને). પ્રક્રિયાના પરિમાણો બદલ્યા પછી, ચકાસણી ચક્ર લાંબું છે. કોટિંગ ટેક્નોલોજી એ એક એવી તકનીક છે જેને સમગ્ર ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ ખૂબ મહત્વ આપે છે. કોટિંગ ટેકનોલોજીમાં સુધારો કરીને સૌર કોષોની કાર્યક્ષમતા વધારી શકાય છે. ભવિષ્યમાં, સૌર કોષની સપાટીની ટેક્નોલોજી સૌર કોષોની સૈદ્ધાંતિક કાર્યક્ષમતામાં એક સફળતા બની શકે છે.
પોસ્ટ સમય: ડિસેમ્બર-23-2024